田文杰
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sps半導體基片旋涂機 SPIN150X
sps旋涂處理器
在當今快速發展的環境中，半導體生產企業面臨著持續的壓力，需要在保持高清潔度標準的同時，生產尺寸小、智能、高效的微芯片。
sps憑借其在晶圓處理和濕法工藝設備方面的專業知識，提供半導體工藝產品解決方案。
POLOS SPIN150X是一款多功能、高品質的基片旋涂機，采用NPP材質制成，也提供PTFE材質。
它為研發和小批量生產而設計，它是一款臺式機型，可手動或自動（可選）分配化學藥劑。
獨特的外殼和排水設計，使操作者可以在現場輕松切換臺面式和嵌入式兩種安裝方式。此外，該設備還支持在現場通過多種配件進行升級，以簡化分配和整體操作過程。
SPIN150X 參數：
液體過濾器捕集器
定制的外殼與排水設計，支持在現場切換臺面式與嵌入式安裝方式
中心注射固定架，適用于注射器或分配噴嘴 — 蓋鎖及真空傳感器確保用戶安全
大尺寸（可拆卸）觸控顯示屏
USB 接口，可用于存儲工藝配方及軟件更新
驅動單元：
間接無刷驅動單元，可達 12,000 RPM（具體取決于基片/卡盤）
高加速度與高精度
加速/減速范圍：1–30,000 RPM
支持順時針、逆時針旋轉及靜置涂布模式（puddle）
sps半導體基片旋涂機 SPIN150X
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