是基于渦流傳感器和紅外光致光電導方法直接測量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設備，具有瞬態和準穩態兩種測量模式。該設備可探測3mm 深度范圍少子壽命，并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值，可實現低電阻率硅單晶少子壽命測量，并能通過軟件端光強偏置實現單晶缺陷密度計算。

簡單介紹

1. 用途（高頻光電導）

測量系統不需要做表面鈍化就能直接測量單晶和多晶硅（錠或塊）的少子壽命.
是基于渦流傳感器和紅外光致光電導方法直接測量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設備，具有瞬態和準穩態兩種測量模式。該設備可探測3mm 深度范圍少子壽命，并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值，可實現低電阻率硅單晶少子壽命測量，并能通過軟件端光強偏置實現單晶缺陷密度計算。