目錄:納特斯(蘇州)科技有限公司>>納米定位臺>>直線定位平臺>> LS-1740直線高真空位移臺
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 生物產業,能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
|---|
LS-1740直線高真空位移臺的尺寸為40 x 17 x 10mm,行程范圍為26mm。
| 概觀 | |
|---|---|
| 步進行程[mm] | 26 |
| 掃描行程[μm] | >1.5 |
| 尺寸[mm] | 40 x 17 x 10 |
| 重量[g] | 26 |
| 力特性 | |
| 最大推力[N] | 2 |
| 最大負載[N] | 10 |
| 最大升力[N] | 1.5 |
| 定位性能 | |
| 開環最大速度[mm/s] | >10 |
| 開環定位分辨率[nm] | <1 |
| 閉環最大速度[mm/s] | >5 |
| 閉環定位分辨率[nm] | <2 |
| 單向重復定位精度[nm] | ±50 |
| 選配 | |
| 材質 | 標配為鋁底座;可選配鋼座(-ST)、鈦基(-TI);均黑色陽極氧化(-BK) |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 超高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 無磁 | 可根據要求定制 |