使用溫度:長期≤200℃,瞬時 250℃
適配爐型:1200℃以內簡易翻蓋上開門燒結爐、僅空氣 / 微正壓氮氣
優勢:彈性好、成本低、加工裁切方便,密封貼合度高
短板:不耐高溫熱輻射,遇高溫會硬化開裂;氫氣、有機揮發氣氛易老化;不能用于真空高溫工況
配套條件:法蘭必須帶水冷,隔絕爐膛熱輻射,否則短期失效
使用溫度:長期≤250℃,短時 300℃
適配:1400℃升降上開門氣氛爐,氮氣、氬氣惰性氣氛、輕微有機溶劑脫膠
優勢:耐油、耐揮發物、抗氧化,比硅膠壽命長 2~3 倍,氣密性更好
短板:價格高于硅膠;超 300℃快速碳化;不適合高真空、高溫長期使用
適用場景:不需要高真空,僅通保護氣氛、有少量粘結劑揮發的燒結工藝
使用溫度:-200℃~650℃(空氣),還原性氣氛可達 1000℃
適配:1600/1700℃高溫升降上開門爐、高真空、氮氣 / 氬氣 / 氫氣還原氣氛
優勢:耐高溫、無有機揮發、不老化、耐各類酸堿揮發物;受壓形變均勻,真空漏率極低;不怕高溫熱輻射,水冷法蘭可不用也能短期耐受
短板:無橡膠彈性,法蘭平面度差時輕微漏;反復拆裝會輕微掉粉
使用溫度:最高可耐受 400℃以上法蘭溫度,無有機物、零放氣
適配:高真空 10??Pa 及以上、高純材料、半導體燒結、長期高溫脫膠
優勢:放氣率極低,密封穩定,不怕有機揮發、還原氣氛
短板:硬質無回彈,每次拆裝必須更換新墊片;對法蘭平面加工精度要求,成本最高
簡易翻蓋上開門、僅空氣燒結、無氣氛真空
→ 普通硅橡膠墊(標配)
升降上開門、惰性氣氛、有少量膠黏劑揮發、無高真空要求
→ 氟橡膠墊
升降上開門、氣氛 + 真空、1500℃以上高溫硅鉬棒爐、氫氣還原、陶瓷粉末燒結
→ 不銹鋼包覆柔性石墨復合墊(行業通用)
超高真空、高純粉體、無碳污染要求
→ 無氧銅墊片
上開門法蘭直面爐膛熱輻射,只要爐溫≥1400℃,無論用橡膠還是石墨,水冷密封法蘭是延長墊片壽命的核心;無水冷橡膠墊幾周就硬化失效。
翻蓋式鉸鏈結構壓緊力不足,不建議用金屬銅墊,只適合橡膠墊;升降螺栓鎖緊款壓緊力充足,石墨、金屬墊均可使用。
含塑料、樹脂排膠工藝,嚴禁只用硅膠墊,揮發油氣會快速溶脹硅膠,優先氟橡膠或石墨墊。
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