SCREEN 光干涉膜厚儀 2-12寸晶圓通用VM-1020，這是一款專為研發(fā)（R&D）設計的顯微鏡型測量設備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
SCREEN Semiconductor Solutions 推出的 VM-1020 光譜膜厚測量系統(tǒng)。這是一款專為研發(fā)（R&D）設計的顯微鏡型測量設備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
產品概覽
VM-1020 是一款結合了顯微鏡和光譜儀的精密儀器。它通過分析樣品表面的反射光，在可見光范圍內同時測量所有波長，從而實現(xiàn)對薄膜厚度的快速、高精度測定。
核心特性
高速高精度測量：采用光纖輸入型 CCD 光譜儀，能夠同時測量全波段光譜，配合高性能 CPU 進行高速運算，可立即顯示膜厚數(shù)值。
操作簡便：系統(tǒng)內置“配方向導"功能，極大地簡化了復雜配方的創(chuàng)建過程，同時改進了配方的注冊與管理。
專為研發(fā)設計：其顯微鏡結構使其特別適合在研發(fā)環(huán)境中進行精確的局部測量。
主要測量功能
該系統(tǒng)具備強的大的分析能力，可滿足多樣化的測量需求：
技術規(guī)格
| 項目 | 詳細參數(shù) |
|---|
| 產品名稱 | VM-1020 |
| 產品類型 | 光譜膜厚測量系統(tǒng) |
| 適用場景 | 研發(fā)（R&D） |
| 晶圓尺寸 | 50mm - 300mm |
SCREEN 光干涉膜厚儀 2-12寸晶圓通用VM-1020，這是一款專為研發(fā)（R&D）設計的顯微鏡型測量設備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
SCREEN 光干涉膜厚儀 2-12寸晶圓通用VM-1020，這是一款專為研發(fā)（R&D）設計的顯微鏡型測量設備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
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