LH1002雙頻激光器采用聲光移頻技術(shù)，頻差穩(wěn)定性高，不受溫度與磁場影響，實現(xiàn)長期無漂移測量。出光功率0.5~1.2mW，正交線偏振無需額外起偏，非線性誤差小。

多軸分光后光強低至10%仍可穩(wěn)定采集，支持靈活擴展多鏡組測量。波長穩(wěn)定性優(yōu)異、預(yù)熱快，兼顧計量標定與復(fù)雜工業(yè)現(xiàn)場，適用于實驗室及嚴苛環(huán)境。

產(chǎn)品特點：

雙頻頻差：20 MHz ±1600 Hz

光斑直徑：3/6mm

工作波長：632.99nm

穩(wěn)頻精度： ±0.02ppm

設(shè)備兼容光刻機干涉儀標準安裝尺寸與通用數(shù)據(jù)接口；

測速能力突出，極限測速約 6m/s，適配高速直線電機、晶圓臺動態(tài)檢測；

頻差由AOM晶振控制，不受激光管溫度、磁場影響，頻差穩(wěn)定性高，長期測量無頻漂