HTC 日揚(yáng)科技自研全金屬角閥適配超高真空工況，適用真空區(qū)間 10?? Pa～10?1? Pa。閥體、閥芯、密封件全部為全金屬結(jié)構(gòu)，密封墊片采用 OFCH 無氧銅材質(zhì)，可承受大幅溫差變化。 全系全金屬閥門歷經(jīng)數(shù)百種嚴(yán)苛工藝工況驗(yàn)證，擁有數(shù)千項(xiàng)現(xiàn)場裝機(jī)落地案例，產(chǎn)品運(yùn)行可靠性經(jīng)過長期市場實(shí)測驗(yàn)證。

一、產(chǎn)品核心優(yōu)勢

· 啟閉動(dòng)作平穩(wěn)，可實(shí)現(xiàn)超高真空管路可靠隔離

· 全金屬無彈性體結(jié)構(gòu)，耐受極限高低溫、具備抗輻射性能

· 標(biāo)準(zhǔn)手動(dòng)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，搭配常規(guī)扭矩扳手，操作簡便易上手

· 密封墊片 Gasket 可單獨(dú)拆卸更換，后期維護(hù)成本低

二、閥門工作原理

全金屬角閥屬于提升錐閥品類。當(dāng)提升錐抬升至頂端位置時(shí)，閥腔內(nèi)部氣流通路通暢，無節(jié)流阻礙；提升錐下壓至閥座底部時(shí)，無氧銅金屬密封墊被均勻壓縮，阻斷氣體流通，實(shí)現(xiàn)金屬硬密封。 該類閥門主流應(yīng)用場景：真空排氣系統(tǒng)、高真空抽氣管路、半導(dǎo)體制造產(chǎn)線、精密科研實(shí)驗(yàn)裝置。

三、產(chǎn)品核心性能與配套說明

1. 基礎(chǔ)性能參數(shù)板塊

2. OFCH 無氧銅密封墊片更換操作

全金屬角閥長期經(jīng)過高溫烘烤、反復(fù)啟閉后，后續(xù)密封循環(huán)所需開關(guān)扭矩會(huì)小幅上升；當(dāng)扭矩超過設(shè)備允許最大值時(shí)，需更換全新 OFCH 無氧銅密封墊片。 產(chǎn)品分為兩大結(jié)構(gòu)型號(hào)，更換操作區(qū)分執(zhí)行：

1. 直角型全金屬角閥

2. 直通 Y 型全金屬角閥

3. 極限高低溫工況實(shí)測數(shù)據(jù)

HTC 全金屬角閥完成完整高低溫可靠性測試：

· 高溫工況：閥門開啟狀態(tài)耐受 400℃，關(guān)閉密封狀態(tài)耐受 300℃，密封漏率達(dá)標(biāo)；

· 低溫工況：液氮浸泡、低溫噴涂方式完成 - 196℃極限低溫復(fù)現(xiàn)測試，閥門運(yùn)行穩(wěn)定，漏率維持在標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)區(qū)間內(nèi)。