真空鐘擺閥依靠圓形閥板做鐘擺式擺動，完成真空管路隔離與流量調節，常規作為大口徑節流閥安裝在真空工藝腔體與渦輪分子泵進氣口之間，廣泛配套 FPD 平板顯示、半導體 SEMI、太陽能光伏 Solar/PV 行業真空鍍膜產線。

針對鐘擺閥大口徑、大體積的產品特性，閥體主體選用鋁合金材質，在降低整機自重、壓縮設備制造成本的同時，保障閥體結構剛性；表面統一提供鍍鎳、硬質陽極氧化兩種處理工藝，雙重防護結構能夠有效抵御鍍膜過程中工藝氣體腐蝕，同時減少閥體運行過程中粉塵脫落，滿足潔凈真空生產要求。 

按照驅動控制方式區分，產品分為氣動鐘擺閥與 APC 壓力控制鐘擺閥兩大類。基礎氣動款僅可完成管路通斷隔離；而 APC 智能控壓鐘擺閥屬于升級款，在實現真空切斷隔離功能之外，可對下游腔體真空度進行連續、高精度閉環壓力調節，適配對真空環境穩定性要求嚴苛的精密鍍膜工序。

一、閥體材質、表面處理與驅動類型

鐘擺閥閥體尺寸偏大，主體采用鋁合金材質，輕量化同時降低制造成本；表面標配鍍鎳、硬質陽極氧化兩種工藝，具備耐腐蝕、低產塵優勢。 驅動模式分為兩類：氣動鐘擺閥、APC 壓力控制鐘擺閥；其中 APC 款可同步實現管路真空切斷與下游工藝精準壓力調控。

二、日揚 APC 鐘擺閥核心優勢

· 整機結構緊湊，運行振動小，閥板啟閉擺動平穩

· 防腐低粉塵設計，適配潔凈鍍膜工藝，壓力控制精度高

· 支持非標尺寸定制，最大法蘭規格可達 ISO500

· 模塊化分體結構，拆裝便捷，后期維護簡單

· 壓力控制精度可達全量程 0.1%

APC 控壓鐘擺閥可在真空系統內實現穩定、高效的閉環壓力調節，憑借低污染、響應快、易維護等優勢，現已成為精密真空系統標準配套部件。日揚科技針對多行業工藝需求定制多款 APC 鐘擺閥，完成真空閥門國產化替代。