皮拉尼真空計又稱皮氏計,是1906年由德國物理學家Marcello Pirani發明的熱傳導式真空測量儀器,是中低真空場景下應用廣泛的測量設備之一。
皮拉尼真空計其核心使用注意事項:
一、校準相關要求
使用前必須按順序完成零點和滿度校準:先將系統抽至1×10?¹Pa以上完成零點校準,再通入大氣穩定10分鐘完成滿度校準,僅在更換規管時才需要重新校準,日常無需反復調校。
二、氣體種類適配
皮拉尼真空計默認以空氣/氮氣為校準基準,測量氬氣、氫氣、有機蒸氣等其他氣體時,因熱導率差異讀數會出現偏差,高精度測量需使用對應氣體的修正曲線,或更換電容薄膜規等適配設備。
三、安裝與防護要點
在易產生粉塵、油蒸氣的污染系統中,規管需端口朝下安裝,減少污染物在管內積聚,避免熱絲被污染后影響測量精度,延長設備使用壽命。
四、操作使用規范
開機后需等待3秒預熱再進入測量狀態,測量范圍需控制在1×10?¹Pa ~ 1×10?Pa的額定區間內,超出量程會導致測量失效,超高真空場景需搭配電離計協同使用。
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