LINXON四極質譜分析儀（myRGA）

用于一般真空應用

可靠和成本效益的氣體分析

LINXON myRGA 是可靠的殘余氣體分析儀 (RGA), 擁有為氣體分析, 檢漏和污染檢測所需的高性能和低價格. 這種簡單易用的 RGA 具有業界優秀的最小可檢測分壓強 (MDPP),信噪比和數據收集速度. 該氣體分析儀提供了低總體擁有成本和高平均故障間隔時間(MTBFs) 的經濟而有效的解決方案.

myRGA 提供好的價值

LINXON myRGA 專為需要這種經過驗證的 RGA 的強勁性能的一般真空和 R&D 應用而設計. 您可選擇 100 或 200 amu 的質量范圍, 儀器提供了高水平的性能. 此外, myRGA可裝備標準的法拉第杯檢測器或可選的電子倍增器, 用于需要監測低含量氣體濃度能力的應用中.

用于 myRGA 傳感器的現代化離子源設計將兩根燈絲集成在陽極, 陰極和反射極的組裝件中. 雙燈絲設計中包含一根可使 RGA 具有最大上線時間的備用燈絲. 使用 myRGA,還可獲得特定應用的燈絲選擇 (鎢絲用于含鹵素的過程或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過程), 確保過程本身不會縮短燈絲的壽命. 更換 myRGA 中的燈絲套件相當于更換傳統 RGAs 的整個離子源, 節約成本, 從而大大地降低總體擁有成本.

傳感器的另一個關鍵特征是能夠在與質譜儀并行運行的同時測量總壓強. 這個壓強測量可用于燈絲的過壓保護.

新傳感器設計提供了可現場更換電子倍增器 (EM) (如配備) 的附加好處. 在定期的維護日程內可現場快速更換 EM. 為延長使用壽命, 研制了新型倍增器, 提供比法拉第杯 (FC)更高的靈敏度和更高的增益.

myRGA優秀性

l 價格低廉和價值好的氣體分析儀，用于檢漏和過程氣體控制。

l 操作方便：直觀的軟件可簡化儀器的初始設置

l 維護最少：易于現場更換的燈絲和離子源組件以及電子倍增器

l 簡單集成選項，任何人都可以通過http界面和LabVIEW開發套件學習

l 可快速交貨

操作方便

使用 myRGA, 無需安裝軟件. 該儀器由集成的機載網頁服務器通過網頁瀏覽器操作, 獨立于您的操作系統. 通過 PC, 平板電腦或智能手機訪問 myRGA; 機載網頁服務器可動態適應您的屏幕尺寸和分辨率.

如您愿意使用 LabVIEW 軟件操作 LINXON myRGA, 隨機附有 LabVIEW 軟件開發套件. 使用提供的 LabVIEW驅動程序示例來定制軟件, 以滿足您的需求.

特點

l 快速的數據收集  

l 機載網頁服務器

l LabVIEW 軟件開發套件  

l TCP/IP 以太網連接

l 雙燈絲

l 可現場更換燈絲, 離子源和電子倍增器

l 可互換的傳感器和電子學設備

l RoHS 認證

應用

真空鍍膜

與使用哪種 PVD 類型的過程 (EB-PVD, IB-PVD, 或標準PVD) 無關, LINXON myRGA 均可提供與任何其他監測方法不同的系統視圖. 無論是監測工藝室是否漏氣, 還是監測氣體管線是否被污染. 如果您需要找出工藝室抽空未達到基本真空的原因, 可使用內置的檢漏功能有效地查找泄漏所在.

熱處理

任何低壓熱處理應用都可受益于使用 LINXON myRGA. 如對某特定氣體是否與所用的金屬發生相互作用有疑問,LINXON myRGA 可監測其質量數, 并顯示其存在和相對含量. LINXON myRGA 還可用于實時泄漏監測或在基本壓強下的手動檢漏.

LINXON myRGA

LINXON 是真空儀器的全新品牌, 由真空行業創新儀器的優秀供應者INFICON 設計和制造. LINXON 儀器以優秀的價格提供高性能, 通過精選的本地合作伙伴進行分配, 并通過視頻教程, 廣泛的常見問題解答, 工廠組織的用戶組等提供支持. LINXON產品是善于獨立做事的客戶的理想選擇.

LINXON四極質譜分析儀（myRGA）

技術參數

(1) 在 10% 峰高處

(2) 在 8 小時的時間段內, 半小時預熱后; 僅 FC 模式

(3) 256 毫秒駐留時間