日本進口CKD喜開理小型流量傳感器FSM-V-AH3-R0500-M5
?采用硅微機械加工的鉑傳感器芯片
?新提出的整流機構實現了
緊湊和高速響應?熱式流量傳感器，可安裝在測量部附近的運動部尖，
可用于檢查電子元件作為一個系統的吸附情況和檢查泄漏?Rapi Flow（R）
日本進口CKD喜開理小型流量傳感器FSM-V-AH3-R0500-M5
?采用硅微機械加工的鉑傳感器芯片
?新提出的整流機構實現了
緊湊和高速響應?熱式流量傳感器，可安裝在測量部附近的運動部尖，
可用于檢查電子元件作為一個系統的吸附情況和檢查泄漏?Rapi Flow（R）
| 型號 | 模擬輸出類型 |
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| 項目 | FSM-X-AR005 | FSM-X-AR010型 | FSM-X-AR050型 | FSM-X-AR100 系列 | FSM-X-AF005 | FSM-X-AF010 系列 | FSM-X-AF050 系列 | FSM-X-AF100 系列 |
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| 流量范圍 （L/min） （注 1） | -0.5~+0.5 | -1~+1 | -5~+5 | -10~+10 | 0~+0.5 | 0~+1 | 0~+5 | 0~+10 |
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| 使用條款 | 適用流體 （注 2） | 清潔空氣 （JIS B 8392-1：2012 （ISO 8573-1：2010） 1.1.1~1.6.2）、氮氣 |
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| 最大工作壓力 （MPa） | 0.2 |
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| 最小工作壓力 （MPa） | -0.09 |
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| 耐壓 （MPa） | 0.3 |
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| 環境溫度和濕度 （°C） | 0~+50， 80%RH 或更低 |
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| 工作液溫度 （°C） | 0~+50 （無冷凝） |
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| 儲存環境溫度 （°C） | -20~+60 （無結露） |
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| 輸出 | 1 個模擬輸出（1-5V 電壓輸出，連接負載阻抗 50 kΩ 或更高）*3 |
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| 精度 （注 4） | 線性 | 非線性特性 |
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| 壓力特性 | 雙向型：±5%F.S.以下（-0.09~+0.2MPa、0.1MPa標準）單向型：±10%F.S.以下（-0.09~+0.2MPa、0.1MPa標準） |
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| 溫度特性 | 雙向型：±0.3%F.S./°C以下（0~+50°C、25°C基準）單向型：±0.6%F.S./°C以下（0~+50°C、25°C標準） |
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再現性（重復性）（
注 5） | ±2% F.S. 或更低 |
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| 響應時間 （注 6） | 5 ms 或更短（10 L/min 為 8 ms 或更短） |
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| 外部泄漏（注 7） | 1 mL/min 或更低（僅傳感器頭）、2 mL/min（帶流路模塊） |
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| 電流消耗 （注 8） | 30 mA 或更低 |
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| 電源電壓 | DC24V （DC21.6~26.4V） 紋波 1% 以下 |
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| 電源電壓波動 | ±2%F.S. 以下 （21.6~26.4V） |
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| 引線 | φ2.9 mm 3 芯（φ0.38 mm、絕緣體外徑、φ0.8 mm） |
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連接
| 產品端 | SM03B-SRSS-TB （JST），無鎖定機構 |
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兼容的
連接器
| 住房 | SHR-03V-S （JST） |
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| 連接器引腳 | SSH-003T-P0.2-H （日本標準） |
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| 安裝 | 安裝姿勢 | 垂直和水平 |
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| 入門級直管 | 必要 |
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| 抗振性 | 10~150Hz，雙振幅 1.5mm，最大 10G，XYZ 方向 2 小時 |
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| EMC 指令 | EN61000-6-4、EN61000-6-2 |
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| 重量 （g） | 零 | 約 4 個（不包括電纜） |
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| H04 系列 | 約 17 個（不包括電纜） |
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| M05 系列 | 約 17 個（不包括電纜） |
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日本進口CKD喜開理小型流量傳感器FSM-V-AH3-R0500-M5
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