一、上下料前置安全點檢

1. 人員防靜電與防護規范

   操作人員穿戴全套連體無塵服、防靜電無塵手套、UV 防護眼鏡、無塵口罩，完成風淋除塵后再作業，全程佩戴接地防靜電手環，控制體表靜電積累。禁止裸手觸碰晶圓電路面、腔體反光板、燈管石英管壁；設備運行時不可直視腔體內部紫外光源。

2. 設備聯鎖與排風檢查

   確認腔體門控聯鎖功能正常，開門自動切斷 UV 光源輸出；整機排風、臭氧分解裝置全程開啟，無管路堵塞、漏氣異味。查看急停按鈕可正常觸發停機，散熱風道濾網無粉塵堆積。

3. 載具與物料預檢

   專用晶圓載盤提前用無水異丙醇擦拭除塵、自然風干；待清洗晶圓外觀完整，無崩邊、劃痕、有機膠殘留，僅使用防靜電真空吸筆抓取晶圓邊緣區域。

4. 腔體前置確認

   清洗程序結束后，維持排風持續吹掃腔體 3 分鐘，排凈內部臭氧，腔體內壁、托盤無高溫碳化油污，方可開啟艙門上下料。

二、上料安全標準操作要點

1. 腔體開門管控

   輕緩解鎖腔體卡扣，勻速拉開艙門，不快速大幅度動作揚起粉塵；開門瞬間探頭不伸入腔體內部，規避殘留紫外反射光、高溫腔壁燙傷。

2. 晶圓放置規范

   手持防靜電吸筆平穩轉移晶圓，僅接觸晶圓外緣無電路區域，水平輕放至腔體載盤中心位置；單批次晶圓之間預留通風間隙，不堆疊、不傾斜，避免晶圓滑動觸碰燈管。

   禁止晶圓緊貼石英燈管、反光板擺放，預留標準散熱距離，防止高溫灼傷晶圓表面膜層。

3. 關艙聯鎖確認

   擺放完成后緩慢閉合艙門，兩側卡扣均勻鎖緊，手動輕拉艙門確認無松動；查看控制面板門閉指示燈亮起，聯鎖保護生效，再設置清洗工藝參數啟動設備。

4. 批量連續上料管控

   批量生產每完成 5 片晶圓上料，低壓吹掃載盤表面浮塵；發現腔體內部掉落顆粒碎屑，暫停上料，完成腔體除塵后再繼續作業。

三、下料安全標準操作要點

1. 程序結束等待要求

   清洗計時完成后，設備自動執行排風吹掃流程，必須等待腔體臭氧排凈提示燈亮起，方可解鎖艙門，清洗中途禁止強制開門中斷程序。

2. 取片操作規范

   艙門打開后靜置 10 秒，待腔體內溫度小幅回落再取晶圓；吸筆吸附晶圓背面中心區域，垂直平穩向上取出，不橫向拖拽摩擦載盤，避免晶圓產生微劃痕。

   取出后的晶圓立即放入密封晶圓盒，隔絕車間粉塵污染，不宜長時間裸露放置在潔凈臺。

3. 異常晶圓處置

   若發現晶圓移位、吸附腔體油污，輕拿輕放轉移至專用不良品托盤，不直接在腔體內擦拭工件，避免碎屑污染光路。

四、無塵車間上下料潔凈安全管控

1. 環境動作約束

   上下料全程動作平緩，不快速揮手、跑動，降低車間揚塵；操作臺面僅擺放無塵耗材、防靜電吸筆，無多余雜物堆積。

2. 耗材使用規范

   清潔僅使用超細無塵布、無水異丙醇；禁止普通紙巾、硬質毛刷接觸載盤、晶圓，防止纖維碎屑、劃痕產生。

3. 靜電風險防控

   潔凈工作臺可靠接地，晶圓盒、載具全部為防靜電材質；不堆疊塑料包裝，減少靜電吸附粉塵污染腔體。

五、上下料禁止違規操作

1. 設備點燈運行中強行開門取放晶圓，紫外光、臭氧外泄損傷人體，同時觸發設備故障報警。

2. 腔體未充分排風冷卻直接上下料，高溫管壁、腔壁易造成燙傷，殘留臭氧刺激呼吸道。

3. 抓取晶圓時觸碰電路有效區域，手部油脂、靜電造成晶圓表面污染、元器件損壞。

4. 晶圓堆疊、緊貼燈管放置，高溫導致膜層變質，還會遮擋紫外光路降低清洗效果。

5. 硬質工具伸入腔體調整晶圓，磕碰反光鍍膜、石英燈管，造成不可逆光學損耗。

6. 未鎖死艙門直接啟動清洗程序，設備無法形成密封，臭氧持續泄漏。

六、上下料異常應急處置要點

1. 開門出現刺鼻臭氧異味：立即閉合艙門，保持排風持續運行 10 分鐘，檢查管路是否泄漏，故障排除后再作業。

2. 晶圓滑落腔體：按下急停按鈕，等待腔體充分冷卻、排風完成，使用無塵鑷子緩慢取出，禁止手直接伸入高溫腔體。

3. 門控聯鎖失效無法斷電：立刻按下機身急停開關，切斷整機光源輸出，暫停上下料，聯系設備檢修。

4. 吸筆無真空吸附力：停止取放晶圓，清理吸筆前端粉塵堵塞，檢修真空管路，不強行拖拽晶圓。

七、上下料收尾規范