一、故障應急前置通用安全規則

1. 出現任意異常報警、異響、異味時，第一時間松開啟動按鍵，若故障持續直接按下機身紅色急停按鈕，切斷紫外光源輸出。

2. 操作人員佩戴 UV 防護眼鏡、防靜電無塵手套，不可直視腔體內部光源；設備排風、臭氧分解裝置全程保持開啟，降低臭氧聚集風險。

3. 設備急停后禁止立刻開蓋，維持風機持續通風 20 分鐘，完成腔體降溫、臭氧排空后再開展檢查，避免燙傷、紫外與臭氧泄漏。

4. 電氣類故障禁止私自拆解電源、線路模塊，僅完成基礎外觀排查，無法解決時聯系設備維護人員檢修。

二、常見故障分類應急處置流程

（一）光源相關故障

1. 燈管無法啟動、點燈失敗報警

   應急操作：關閉總電源靜置 5 分鐘后重啟，檢查腔體艙門是否閉合、門控開關有無卡滯；查看燈座觸點是否堆積氧化積碳，低壓吹掃觸點粉塵。重啟后仍無法點燈，判定燈管或驅動電源損耗，停止生產，更換備用燈管。

   禁止：短間隔反復多次啟動光源，高壓脈沖會加速電源組件損壞。
2. 燈管閃爍、腔體內部出現打火異響

   應急操作：立即按下急停停機，通風冷卻后打開腔體，清理燈座金屬觸點油污、粉塵；核對輸入電壓是否波動過大，電壓不穩時暫停作業，接入穩壓設備后再試。持續打火需更換老化燈座配件。
3. 紫外清洗效果大幅下降，能量不足

   應急操作：停機冷卻后拆解腔體，無塵布搭配異丙醇清潔燈管管壁、內部反光板；檢查散熱濾網堵塞情況，吹掃或更換濾網；清潔完成空載校準能量，數值依舊偏低則更換燈管。

（二）溫控高溫報警故障

1. 設備高溫指示燈亮起、自動停機

   應急操作：保持風機持續運轉，清理設備進出風濾網堆積油墨粉塵；檢查腔體散熱風道有無工件碎屑堵塞；單次連續作業時長縮短至 4 小時，增加冷卻間隔。濾網清理后反復報警，排查風機運轉工況。

2. 腔體局部溫度異常偏高

   應急操作：取出腔體內全部工件，調整工件擺放位置，避免工件緊貼燈管、反光板遮擋風道，預留標準散熱間隙。

（三）腔體門控與密封故障

1. 艙門閉合后設備提示門未關嚴，無法啟動程序

   應急操作：解鎖艙門重新開合，清理門封膠圈縫隙粉塵、雜質；檢查門控感應開關是否偏移，手動輕按開關確認感應正常；膠圈老化變形造成密封不嚴，臨時減少批量生產，等待更換配件。
2. 艙門運行途中自動彈開，臭氧異味溢出

   應急操作：立刻急停關閉光源，加大車間排風；冷卻后檢查艙門卡扣彈性，清理密封面碳化油污；卡扣失效暫停設備使用，防止紫外持續外泄。

（四）排風、臭氧系統故障

1. 排風風機異響、風量明顯減弱

   應急操作：停機吹掃風機濾網與管路雜物，查看風機葉片有無纏繞異物；風機出現抖動、刺耳噪音，停止連續生產，安排檢修。

2. 車間臭氧氣味濃重，分解裝置報警

   應急操作：延長腔體排風吹掃時間，檢查管路接頭有無縫隙漏氣；確認艙門密封，降低單次清洗工件數量，減少有機揮發物產生。

（五）載物托盤上下料卡滯故障

1. 托盤推拉卡頓、無法進出腔體

   應急操作：停機冷卻后緩慢抽出托盤，清理軌道內部粉塵、晶圓碎屑；無塵布擦拭軌道導軌，少量專用防靜電潤滑膏涂抹導軌；禁止強行拖拽托盤，防止軌道變形劃傷工件。
2. 托盤移位，工件傾斜貼近燈管

   應急操作：關閉光源，通風降溫后用防靜電吸筆平穩取出工件，校正托盤扣，固定托盤限位結構后再恢復作業。

（六）電氣面板報錯、整機斷電

1. 運行途中整機突然斷電

   應急操作：斷開設備總閘，檢查電源線插頭、接地端子是否松動；周邊有無大功率設備同步運行造成電壓過載，錯開用電時段再重啟。

2. 控制面板亂碼、按鍵無響應

   應急操作：斷電靜置 10 分鐘復位系統，清理操作面板表面油墨污漬；復位后無改善，禁止操作設備，通知維修人員處理。

三、重大危險故障應急標準流程

1. 腔體內部冒煙、出現焦糊氣味

   立刻按下急停并切斷設備總電源，保持排風持續通風，人員撤離設備周邊；等待降溫后再檢查，禁止開蓋觀察，規避起火風險。

2. 燈管炸裂、腔體殘留玻璃碎屑

   整機斷電，持續排風 30 分鐘散盡臭氧；穿戴加厚防護手套，使用專用無塵鑷子清理碎屑，廢舊燈管按工業危廢統一回收，不可隨意丟棄。

3. 門控聯鎖失效，點燈狀態可直接開啟艙門

   立即停止全部生產，設備上鎖掛牌禁止使用，等待維修人員更換聯鎖開關，故障未修復前嚴禁上機作業。

四、故障處置禁止操作事項

1. 設備高溫、臭氧未排空時直接開蓋，引發燙傷、呼吸道刺激、紫外灼傷。

2. 帶電拆解燈座、電源、控制板等電氣組件，存在觸電隱患。

3. 使用金屬硬質工具刮擦反光板鍍膜、燈管管壁，造成性光學損傷。

4. 故障未排除強行持續生產，加劇配件損耗，擴大設備故障范圍。

5. 近距離直吹燈管、鍍膜反光板，沖擊力劃傷光學部件。

五、故障處理收尾與臺賬登記規范

1. 故障排除、配件更換完成后，空載試運行 10 分鐘，確認無報警、異響、溫度異常，再恢復批量生產。

2. 所有故障處理完成后，完整記錄故障類型、報警代碼、發生時間、處置方式、更換配件型號。

3. 反復出現同類故障，縮短設備季度深度保養周期，提前排查潛在老化配件。

4. 當日作業結束后，吹掃腔體風道與濾網，閉合艙門做好防塵遮蓋。