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SAMCO紫外臭氧清洗儀器,無需真空系統(tǒng),在大氣環(huán)境下即可溫和高效去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體等基板表面有機(jī)物。搭載加熱臺面與臭氧分解裝置,最大處理 φ100mm...
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