非接觸式導向結構陶瓷門型XY舞臺軸承
非接觸導向結構(上軸、下軸):采用空氣靜軸承和無鐵芯直線電機的組合,實現了非接觸的導向結構。無需擔心磨損或粉塵問題,能夠在長期內保持亞微米級的運動精度和姿態精度。
非接觸式導向結構陶瓷門型XY舞臺軸承
非接觸式導向結構陶瓷門型XY舞臺軸承
陶瓷材質
門型XY舞臺
索迪克集成了核心技術,開發出了高速、高精度、無振動的門型舞臺。
非接觸導向結構(上軸、下軸):采用空氣靜軸承和無鐵芯直線電機的組合,實現了非接觸的導向結構。無需擔心磨損或粉塵問題,能夠在長期內保持亞微米級的運動精度和姿態精度。
反力抵消結構:上軸采用了加速反力抵消的平衡臺結構。即使在高速定位時,也能通過加速反力抵消結構實現無振動的高精度定位。
實現納米級位置控制:采用了索迪克高速運動控制(SLMC)技術,該技術在超精密加工機和高精度電火花加工機中擁有豐富經驗。
陶瓷材質
門型XY舞臺
索迪克集成了核心技術,開發出了高速、高精度、無振動的門型舞臺。
非接觸導向結構(上軸、下軸):采用空氣靜承和無鐵芯直線電機的組合,實現了非接觸的導向結構。無需擔心磨損或粉塵問題,能夠在長期內保持亞微米級的運動精度和姿態精度。
反力抵消結構:上軸采用了加速反力抵消的平衡臺結構。即使在高速定位時,也能通過加速反力抵消結構實現無振動的高精度定位。
實現納米級位置控制:采用了索迪克高速運動控制(SLMC)技術,該技術在超精密加工機和高精度電火花加工機中擁有豐富經驗。