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韓國PlayTG半導體高純度氣體輸送擴散器
韓國PlayTG半導體高純度氣體輸送擴散器
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 潤濕材料 | 316L EP 管 + 316L 不銹鋼燒結濾芯 |
| 表面處理 | 內部 Ra ≤5 μin（電解拋光） |
| 工作壓力 | 1 MPa（@20 ℃） |
| 工作溫度 | 200 ℃ |
| 過濾/擴散等級 | ≥0.003 µm，9 LRV（99.9999999 %） |
| 氦泄漏率 | 1×10?? cc/sec |
| 接口類型 | 1/4"、3/8"、1/2" VCR 或 SWG 可選 |
| 型號 | A | B | C | D | E | 接口 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DFV4-025-84 | 84 | 42.5 | 25.4 | 16 | 17 | 1/4" VCR |
| DFV4-038-84 | 84 | 44.6 | 38.1 | 23.8 | 17 | 3/8" VCR |
| DFV8-038-110 | 110 | 67.3 | 38.1 | 23.8 | 23.8 | 1/2" VCR |
DF 系列擴散器通過多孔金屬燒結濾芯將高速氣流瞬間分散成低速、均勻、低湍流的氣體云，從而顯著降低顆粒產生和壓力沖擊，是半導體廠高產出、低缺陷率的關鍵部件之一。
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