NAGANO KEIKI半導體產業用高溫壓力傳感器
ZT17 是一系列面向半導體制造、可測 200 °C 的“高溫壓力傳感器/變送器"
NAGANO KEIKI半導體產業用高溫壓力傳感器
NAGANO KEIKI半導體產業用高溫壓力傳感器
ZT17 是一系列面向半導體制造、可測 200 °C 的“高溫壓力傳感器/變送器"
ZT17-120 系列(原標準型)
介質溫度:-20 … +120 °C
傳感部填充高純度液體作為熱緩沖,屬于“液封式"結構
壓力量程:0~0.3 / 0.5 / 1 / 2 / 3.5 / 5 / 10 / 20 MPa 及對應的 -0.1… 表壓段
精度:±0.5 %FS(23 °C 基準)
輸出:4-20 mA(二線)或 0/1-5 VDC(三線)
接液材質:Co-Ni 系感壓元件+SUS316L 接頭;表面平均粗糙度 0.18 μm Ra, 0.7 μm Rz
密封指標:He 檢漏 5×10?1 Pa·m/s 以下,0.1 μm 以上粒子 ≤ 1 個/min
ZT17-200 系列(高溫干式型,新品)
介質溫度:-20 … +200 °C
采用新開發的“無封裝液"干式感壓元件,避免高溫下填充液揮發或滲透
溫度補償范圍 15…200 °C;溫漂 Zero ±1 %FS、Span ±3 %FS
綜合精度:±0.65 %FS(含線性、重復性、遲滯)
輸出、量程檔與 120 型相同,但電源電壓 10-30 VDC
接液部全 SUS316L,經超臨界清洗與特殊表面處理,粒子<0.1 μm(5 V 等電位下 LVT 測試“零計數")
接頭形狀:S 形、T 形一體,可選 1/4 VCR、1/4 U 或 3/8 VCR 螺紋
同樣滿足 CE、UKCA、RoHS