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當(dāng)前位置:深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>儀器設(shè)備>> SG系列 SG-10-4ULVAC 愛(ài)發(fā)科 雙陰極兼容型等離子電源設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)SG系列 SG-10-4
品 牌ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科
廠(chǎng)商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間:2026-04-30 13:40:02瀏覽次數(shù):112次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)日本 ICC 全自動(dòng)反應(yīng)溶劑回收精制設(shè)備
日本 Kiyomoto 省空間型過(guò)熱蒸汽調(diào)理設(shè)備
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
ULVAC 愛(ài)發(fā)科 雙陰極兼容型等離子電源設(shè)備 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 雙陰極兼容型等離子電源設(shè)備
寬頻率范圍輸出:可設(shè)置并輸出 20kHz 至 100kHz 的振蕩頻率,無(wú)需更改抽頭即可在規(guī)格范圍內(nèi)的輸出電壓范圍內(nèi)輸出,適配不同工藝的頻率需求。
脈沖輸出控制:支持脈沖輸出控制,可根據(jù)工藝需求靈活調(diào)整輸出模式,優(yōu)化等離子體穩(wěn)定性與工藝效果。
靈活的外部控制方式:標(biāo)準(zhǔn)配備外部模擬控制、控制器等控制功能,通過(guò)選配可支持 RS232C、RS485、EtherCAT 等多種控制方式,便于與自動(dòng)化系統(tǒng)集成。
高可靠性設(shè)計(jì):專(zhuān)為等離子體負(fù)載優(yōu)化設(shè)計(jì),兼具可靠性與穩(wěn)定性,可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行,保障工藝連續(xù)性。
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 輸入電壓 | 三相 AC380-440V |
| 輸入容量 | 13.2kVA 以下 |
| 最大額定功率 | 10kW |
| 額定電流 | 32A |
| 額定電壓 | 1000Vrms |
| 振蕩頻率 | 20k-100kHz |
| 控制精度 | ±100W |
| 控制保證范圍 | 額定功率值的 10-100%(電壓 30V 以上、電流 1.5A 以上) |
| 外部控制方式 | 模擬 / 數(shù)字、RS232C/RS485(選配)、EtherCAT(選配) |
| 冷卻方式 | 水冷,7L/min 以上 |
| 外形尺寸(W×D×H) | 483×500×177mm |
| 設(shè)備重量 | 40kg |
雙陰極濺射工藝的等離子發(fā)生系統(tǒng)
等離子體 CVD 工藝的電源配套設(shè)備
各類(lèi)需要寬頻率范圍等離子輸出的半導(dǎo)體與真空工藝場(chǎng)景
科研實(shí)驗(yàn)中需靈活控制頻率與功率的等離子體發(fā)生裝置
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