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當(dāng)前位置：深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>儀器設(shè)備>> CRYO-U8HULVAC 愛發(fā)科 超高真空低溫泵實(shí)驗(yàn)設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)CRYO-U8H
品 牌ULVAC/日本愛發(fā)科
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間：2026-04-30 13:45:47瀏覽次數(shù)：131次
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日本 Kiyomoto 省空間型過熱蒸汽調(diào)理設(shè)備
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
ULVAC 愛發(fā)科 超高真空低溫泵實(shí)驗(yàn)設(shè)備 ULVAC 愛發(fā)科 超高真空低溫泵實(shí)驗(yàn)設(shè)備
輕巧緊湊設(shè)計(jì)：結(jié)構(gòu)緊湊，便于安裝與布局，節(jié)省設(shè)備空間，適配實(shí)驗(yàn)裝置與小型生產(chǎn)裝置的空間需求。
超高真空性能：可實(shí)現(xiàn) 10??Pa 以下的超高真空，滿足對(duì)真空度要求的工藝與實(shí)驗(yàn)場(chǎng)景需求。
多臺(tái)并聯(lián)運(yùn)行支持：最多支持 3 臺(tái)并聯(lián)運(yùn)行，可根據(jù)實(shí)際排氣需求靈活擴(kuò)展，提升系統(tǒng)排氣能力。
廣泛的排氣能力：對(duì)氮?dú)狻錃狻鍤饧八魵獾榷喾N氣體具有較高的排氣速度，適配不同工藝的氣體處理需求。
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 氮?dú)馀艢馑俣龋?0℃） | 1700L/s |
| 氫氣排氣速度（20℃） | 2700L/s |
| 氬氣排氣速度（20℃） | 1400L/s |
| 水蒸氣排氣速度（20℃） | 4000L/s |
| 極限壓力 | 10??Pa（10??Torr） |
| 氬氣最大流量 | 1.2×103Pa·L/s（8.9Torr·L/s） |
| 氬氣排氣容量 | 1.0×10?Pa·L（7.6×10?Torr·L） |
| 氫氣排氣容量 | 1.0×10?Pa·L（7.6×103Torr·L） |
| 冷卻下降時(shí)間（電力循環(huán)） | 100/90min（50/60Hz） |
| 進(jìn)氣口法蘭規(guī)格 | UVG-200、6" ANSI、ICF-253 |
| 外形尺寸（不含突起物） | 直徑 300mm，高度 523.7mm（上部直徑 203.2mm，高度 209.6mm） |
各類科研實(shí)驗(yàn)裝置的超高真空排氣系統(tǒng)
小型半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置的真空排氣配套設(shè)備
真空熱處理爐、真空鍍膜設(shè)備的高真空排氣系統(tǒng)
醫(yī)療與食品相關(guān)裝置的超高真空排氣場(chǎng)景
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