您好, 歡迎來到化工儀器網
產品簡介
詳細介紹
產品型號：ABN-VPS-001
1. 產品概述
艾博納ABN-VPS-001是一款集成高真空與寬溫區控制能力的高精度電子測量探針臺。該系統專為滿足半導體、材料科學及微電子機械系統等領域在變溫環境下的電學特性表征需求而設計，通過精密的機械結構與屏蔽設計，為用戶提供穩定、可靠、可重復的測試平臺。
2. 核心系統與技術參數
2.1 真空腔體系統
結構設計：采用雙層腔體結構設計，由外腔體與內電磁屏蔽腔體組成。
真空性能：系統極限真空度可達 10?? Pa。高真空環境旨在消除測試過程中氣體分子的干擾，具體作用包括：
在低溫測試階段，有效抑制樣品及探針表面的水汽凝結現象。
在高溫測試階段，防止樣品發生氧化，保證材料本征屬性的測量。
提升溫度控制效率與穩定性。
2.2 顯微觀測系統
顯微鏡：搭載高性能體式金相顯微鏡，具備長工作距離和高分辨率特性，適用于在真空腔體外部對樣品與探針位置進行觀測。
圖像采集：集成1270萬像素尼康CCD相機。該相機用于捕捉高清晰度、高色彩還原度的樣品微觀圖像，輔助操作人員進行精確的探針定位，并記錄樣品在測試過程中的形貌變化。
2.3 溫度控制系統
該系統提供兩種制冷模式及加熱功能，以適應不同溫區的測試需求：
制冷方式：
熱電制冷：基于帕爾貼效應，可實現快速升降溫。適用于對響應速度要求較高的小范圍溫度調節。
*溫區范圍：-60°C 至 +150°C*
液氮制冷：利用液氮蒸發相變吸熱原理，用于實現深低溫環境。
*溫區范圍：-196°C 至 室溫*
加熱方式：采用電阻絲或薄膜加熱器作為熱源，支持樣品臺升溫。
*最高溫度：+300°C 以上*
溫度均勻性：通過優化導熱介質（如填充低氣壓氮氣或利用真空環境）確保樣品臺表面溫度分布均勻，減小測試區域溫差。
2.4 探針定位與信號測試系統
定位機構：配備高精度機械移動平臺，支持X、Y、Z三軸移動，移動精度達微米級。
樣品固定：采用真空吸附方式固定樣品，確保在變溫及震動環境下樣品的穩定性。
探針接口：
探針類型：支持配置多種探針，包括直流探針、高頻探針及同軸探針，以滿足不同的測試需求。
連接性：探針接口設計用于連接外部測試設備，如源表、半導體參數分析儀、網絡分析儀等。
屏蔽設計：內置電磁屏蔽腔體，旨在降低外部電磁環境對微電流、高頻信號測量的干擾，提升測試信噪比。
3. 典型操作流程
準備階段：清潔樣品臺，將待測樣品通過真空吸附或夾具固定。根據測試需求選擇并安裝相應類型的探針，調整探針臂高度。通過溫控器設定目標溫度曲線。
環境建立：啟動真空系統，使腔體達到預定真空度。開啟制冷系統（液氮模式需連接外部杜瓦罐）或加熱系統，監控樣品臺實際溫度，等待溫度穩定在設定值。
定位與測試：通過顯微鏡觀察和XYZ微調機構，將探針針尖精確移動至樣品的待測電極（Pad）上，確保形成良好的電接觸。啟動外部測試儀器（如Keysight B1500A），進行所需的電學測量（如I-V曲線、C-V特性、射頻參數等）并記錄數據。
結束與恢復：測試完畢后，先將溫度控制系統設定回室溫，防止直接關閉導致結霜。待溫度恢復至室溫后，依次關閉測試儀器、溫度控制器、真空泵等系統電源。
4. 維護與校準
為確保系統長期穩定運行，建議執行以下維護規程：
日常清潔：定期使用無塵布蘸取異丙醇清潔樣品臺和探針針尖，防止污染物積累。
探針檢查：周期性檢查探針針尖磨損情況，必要時進行更換或重新研磨。
氣路與真空維護：檢查液氮管路的密封性，防止泄漏；定期更換真空泵油，檢查真空吸附能力。
溫度校準：定期使用標準溫度傳感器對樣品臺的實際溫度進行多點校驗，確保控溫精度。
機械校準：使用標準校準片校正顯微鏡的成像精度與移動平臺的定位精度。
電氣檢查：定期檢查設備接地狀況，確保靜電防護有效；檢查屏蔽箱體的連接，保證電磁屏蔽效能。