【產(chǎn)品特點(diǎn)】

■3D電霧化系統(tǒng)，是北京甄耀言科技有限公司自主研發(fā)的高精度多軸聯(lián)動設(shè)備，專為微納材料沉積、精密噴涂、功能性涂層制備等場景打造，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)療、優(yōu)良材料等領(lǐng)域的精密加工工序，可實(shí)現(xiàn)三維空間內(nèi)的精準(zhǔn)霧化沉積。

■系統(tǒng)采用四軸聯(lián)動架構(gòu)，X/Y 軸搭載高性能直線電機(jī)，配合交叉滾柱導(dǎo)軌與 50nm 高分辨率光柵反饋，可實(shí)現(xiàn) ±0.3μm 的重復(fù)定位精度與 ±0.5μm 的定位精度，最小步長低至 50nm，確保平面內(nèi)微米級運(yùn)動控制。X/Y 軸有效行程達(dá) ±500mm，最大運(yùn)動速度 500mm/s，兼顧加工效率與穩(wěn)定性；Z 軸采用直線電機(jī)驅(qū)動，行程 ±100mm，定位精度 ±2μm，可適配不同厚度工件的霧化加工需求。θX 軸（A 軸）采用 DD 馬達(dá)加減速器驅(qū)動，支持 360° 連續(xù)旋轉(zhuǎn)，重復(fù)定位精度 ±0.15sec，定位精度 ±3sec，可實(shí)現(xiàn)工件的多角度姿態(tài)調(diào)整，完成復(fù)雜曲面的均勻霧化沉積。

■設(shè)備負(fù)載性能優(yōu)異，Z 軸可調(diào)負(fù)載范圍為 1-30kg，AC 軸末端最大負(fù)載 20kg，適配多種霧化噴頭與夾具類型。整機(jī)采用高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，重量達(dá) 1000kg，有效抑制加工過程中的振動誤差，保障長期穩(wěn)定運(yùn)行。3D電霧化系統(tǒng)支持定制化控制方案，可與多種霧化噴頭、壓力控制單元無縫對接，實(shí)現(xiàn)流量與運(yùn)動路徑的精準(zhǔn)同步控制，大幅提升涂層均勻性與一致性。

【產(chǎn)品參數(shù)】