【產(chǎn)品特點(diǎn)】

■氣浮直線尺是北京甄耀言科技有限公司推出的高性能精密運(yùn)動(dòng)組件，專為高潔凈、無(wú)摩擦、超高直線度的運(yùn)動(dòng)場(chǎng)景設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)檢測(cè)、精密測(cè)量等領(lǐng)域，為微米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制提供穩(wěn)定可靠的解決方案。

■產(chǎn)品采用花崗巖基座與氣浮支撐結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了無(wú)接觸式運(yùn)動(dòng)，可以消除機(jī)械摩擦誤差，具備極低的直線度與平面度誤差。STM 系列提供 800-2300mm 的長(zhǎng)行程可選，截面尺寸包含 150×100mm、150×200mm 兩種規(guī)格，適配不同負(fù)載與安裝空間需求；其直線度誤差低至0.5um+0.5×10??L（L 為行程），搭配三點(diǎn)調(diào)平墊塊，平面度可與直線度保持一致，抗最大扭矩達(dá) 1.5Nm，保障長(zhǎng)行程運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性。STL 系列則主打中短行程精密應(yīng)用，測(cè)量行程覆蓋 600-800mm，直線度保證值分別小于 0.8um 與 0.9um，100mm×100mm 的緊湊截面設(shè)計(jì)，適配設(shè)備小型化需求，最大中心負(fù)載 15kg，抗扭矩 1.2Nm，滿足高精度定位需求。

■氣浮直線尺預(yù)載方式支持真空預(yù)載與磁力預(yù)載兩種模式，STM 系列采用真空預(yù)載，輸入氣壓 0.6MPa，氣體流量 6L/min（搭配真空發(fā)生器 40L/min）；STL 系列采用磁力預(yù)載，耗氣量?jī)H 3.2L/min，兼顧性能與運(yùn)行成本。花崗巖基座具備優(yōu)異的熱穩(wěn)定性與剛性，整機(jī)重量從 27kg 到數(shù)百公斤不等，可有效抑制振動(dòng)干擾，保障長(zhǎng)期運(yùn)行精度

■產(chǎn)品支持定制化行程與安裝配置，可與直線電機(jī)、光柵編碼器無(wú)縫對(duì)接，構(gòu)建完整的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。北京甄耀言科技有限公司依托多年氣浮技術(shù)積累，為產(chǎn)品提供技術(shù)支持與售后保障，是高精密制造領(lǐng)域的理想運(yùn)動(dòng)組件選擇。