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離子注入機/日本ULVAC介紹：
用于研究和開發的中電流離子注入機IMX-3500中電流離子注入機IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機，非常適合大學的研發。
特征：
最大晶圓尺寸為8英寸，配備可處理不規則形狀基板的壓板。
除了氣體源之外，固體蒸發源也可用于易于安全處理B、P和As離子的離子源。
高壓端子部分與量產設備配置相同，確保高可靠性。
離子注入機/日本ULVAC規格：
活力 | 30至200keV（可選3至200keV） |
最大束流 | 11B+ 400μA（200keV) |
最小束流 | 150納安 |
離子種類 | B、P、As、Si、Ge、Sb、In |
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