| 價格區間 |
1-1萬 |
應用領域 |
化工,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合 |
日本CKD喜開理微型不銹鋼氣體質量傳感器
FSM3-L005UIAAIAIN-B 是 0.5L/min 量程不銹鋼單向 MEMS 微量氣體質量流量傳感器，搭載可翻轉 LCD 數顯，IP65 防塵防水，單機兼容空氣、氮氣等 5 種工業氣體；輸出 1-5V 模擬量搭配 NPN 報警信號，高精度快響應，流路無樹脂析出，多用于半導體、自動化、無塵車間微量氮氣與保護氣實時流量監測、管路檢漏。
日本CKD喜開理微型不銹鋼氣體質量傳感器
日本CKD喜開理微型不銹鋼氣體質量傳感器
一、產品基礎定位
該款為日本 CKD 喜開理 RAPIFLOW® FSM3 系列MEMS 微型不銹鋼氣體質量流量傳感器，滿量程 0.5L/min，單向氣流測量機型，屬于高精度微量氣體監測元件，專為微小氮氣、保護氣、吹掃氣等低流量工況設計，搭載 IP65 防塵防水防護，適配無塵潔凈工序與多粉塵、易濺水工業環境。
型號拆解說明
L 代表帶可翻轉 LCD 數字顯示屏；005 為滿量程 0.5L/min 微量流量規格；U 代表單向氣流檢測；I 為 SUS 不銹鋼全金屬流路，不含樹脂，無氣體析出污染；AA 是直通螺紋管路接口；I 為可旋轉液晶顯示屏；A 輸出配置包含 1 路 1-5V 模擬電壓流量信號、1 路 NPN 晶體管報警開關，支持參數復制功能；IN 代表無內置流量調節針閥，標配 1 米 5 芯出線線纜；后綴 B 為 IP65 耐環境升級防護規格。
二、核心性能與檢測原理
采用 MEMS 熱式質量流量檢測方案，直接輸出質量流量數值，輕微氣壓波動不會影響測量結果；重復精度≤±1% FS，整機顯示精度≤±3% FS，響應速度低至 50ms，微量氣路結構優化，管路壓力損耗極低，適合極小流量穩定監測。機身自帶按鍵切換 5 種標準介質：空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳、8:2 氬碳焊接混合氣，無需更換傳感器本體即可切換使用場景。
結構與防護特性
整機流路通體不銹鋼材質，無銅、無樹脂析出，滿足半導體、醫藥、鋰電池禁排氣無塵制程要求；整機防護等級 IP65，車間清洗濺水、粉塵堆積環境均可穩定運行，顯示屏配有密封保護蓋板，閉合狀態維持防塵防水性能，開蓋后可操作機身按鍵修改參數、切換氣體、設置流量報警閾值。LCD 屏幕支持多角度翻轉，橫向、垂直安裝都能清晰讀取實時流量、累計氣量、報警狀態；自帶參數復制功能，多臺同規格設備批量調試時一鍵同步參數，大幅縮短產線調試工時。
電氣與安裝特性
電氣輸出分為 1-5V 模擬量信號，可直接對接 PLC 采集實時流量數據；NPN 開關信號可自定義上下限流量報警、斷氣、流量異常提醒；標配 1 米 5 芯線纜布線便捷，可選配 DIN 導軌支架集中安裝。內部無活動閥芯、無易磨損密封件，使用壽命長，日常僅需定期吹掃管路雜質即可完成維護，機身體積小巧，可直接串聯在細小氣管回路，節省設備安裝空間。
三、適用行業與工況
主打微量氣體監測場景：半導體晶圓微量氮氣吹掃、電子精密元件焊接微量保護氣管控、實驗室小型惰性氣供給、醫療器械潔凈管路檢漏、自動化設備微型氣源流量監控；不銹鋼無析出結構適配食品、制藥無塵產線，不適用于強酸性、強腐蝕性氣體長期使用。
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