HIWIN上銀晶圓裝卸機Load Port的操作使用

時間：2025/10/20閱讀：525

準備工作

檢查電源和氣源：確保電源供應為 DC 24V±3%，電流最大 5A，氣壓在 0.5~0.7MPa，真空度在 - 0.05~-0.07MPa。

連接通訊線：通過 RS232 通訊線將 Load Port 與上位控制器（如 IPC/PC）連接好。

載具放置與識別

搬運載具：使用 OHT（軌道自動搬運車）或人工將晶圓載具（如 8 英寸 Open Cassette、12 英寸 FOUP/FOSB 或 12 英寸 Metal Carrier 等）搬運至 Load Port 的裝載平臺。

載具識別：Load Port 具備載具辨識 Info pad A/B/C/D 感測器，可自動識別載具類型和相關信息，同時通過載具在席（presence）檢知功能和載具放置（place）檢知功能，確認載具是否正確放置。

載具對接與固定

對接操作：Load Port 的對接平臺會自動與載具進行對接，對接行程為 70mm，對接位置為 173mm（FDP 至 BOLTS 面），未對接位置為 243mm（FDP 至 BOLTS 面）。

壓固載具：對接完成后，Load Port 的壓固（clamp）功能會啟動，將載具牢固固定，防止在后續操作中發生移動。

晶圓檢測

開啟檢測：確認載具固定好后，Load Port 的檢測機構會沿豎直方向運動，對盒內晶圓進行掃描檢測，如晶圓凸片（wafer protrusion）檢知功能、玻璃晶圓凸片（glass wafer protrusion）檢知功能等，以確保晶圓的狀態正常。

晶圓搬運

自動化搬運：在檢測完成后，由晶圓機器人或傳片機械手（WTW）根據控制系統的指令，從 Load Port 上的載具中取出晶圓，搬運至工藝加工區進行處理，完成工藝后再將晶圓搬運回載具。

載具解鎖與撤離

解鎖載具：當晶圓搬運完成后，Load Port 會解除對載具的壓固，即執行解鎖操作。

撤離載具：最后使用 OHT 或人工將載具從 Load Port 上搬離，完成一次完整的操作流程。

安全操作注意事項

緊急停止：若在操作過程中發現異常情況，應立即按下 Load Port 上的緊急停止（E-stop）按鈕，停止設備運行，避免發生安全事故或設備損壞。

狀態監控：操作人員應隨時關注 Load Port 上的 LED 狀態指示燈，以及上位控制器上的相關信息，及時了解設備的運行狀態和故障報警等情況。

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