HIWIN上銀EFEM220-D13晶圓移載系統的操作使用

時間：2025/10/21閱讀：361

準備工作

電源連接：確保電源為 1Phase, AC200~220V, 50/60Hz, 20A。

氣源連接：連接好氣源，保證氣壓穩定，以滿足系統中相關氣動部件的運行需求。

通訊設置：根據系統要求，設置好 RS-232 或 Ethernet 通訊參數，確保 EFEM220-D13 與上位控制器（如 IPC/PC）以及其他相關設備之間能夠正常通訊。

模塊檢查：檢查系統各模塊是否正常，如晶圓機器人、Load Port、尋邊器等，確保安裝牢固。

載具放置與識別

放置載具：使用合適的搬運工具，將晶圓載具（如 Open Cassette 等）放置到 Load Port 上。

載具識別：Load Port 的相關傳感器會自動識別載具類型和信息，同時確認載具是否正確放置。EFEM220-D13 的感測器會實時監測載具的狀態。

晶圓檢測與校準

晶圓檢測：如果系統配置了晶圓尋邊器等檢測設備，可啟動檢測程序，對載具中的晶圓進行檢測，如檢測晶圓的凸片情況、中心位置和角度等信息。

數據校準：根據檢測結果，系統會自動計算晶圓的偏差值，并對晶圓機器人的取片位置和角度進行校準，以確保后續取片的準確性。

晶圓搬運操作

設置搬運路徑：通過 GUI 界面軟件，設置晶圓的搬運路徑和目標位置，例如從 Load Port 搬運到指定的工藝設備端口。

啟動搬運程序：確認設置無誤后，啟動晶圓搬運程序，晶圓機器人（型號為 RWDE-B-Z340-02R185）會根據指令從載具中取出晶圓，并按照設定的路徑搬運到目標位置，取放距離為 255mm。

晶圓放置：機器人將晶圓準確放置到目標位置后，會根據系統指令釋放晶圓，完成一次搬運操作。

系統監控與維護

狀態監控：在整個操作過程中，操作人員可通過 GUI 界面軟件實時監控系統的運行狀態，包括各模塊的工作狀態、傳感器的檢測信息、晶圓的搬運進度等。

故障處理：若系統出現故障，會及時發出報警信號，操作人員應根據報警提示信息，查找故障原因，并采取相應的排除措施。

日常維護：定期對 EFEM220-D13 進行清潔、保養和校準，以確保系統的性能穩定和精度準確，例如定期檢查直線導軌、滾珠絲杠等關鍵部件的磨損情況，并及時進行更換或維護。

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