一、可燃氣體（氫氣、甲烷、乙烯等）配比注意事項

1. 整套配氣系統電氣部件必須具備防爆資質，車間禁止明火、靜電、手機、無防爆電機；設備可靠接地消除靜電積累。

2. 氫氣等可燃氣體配比濃度嚴格低于爆炸下限，配置可燃氣體報警器，報警閾值設置在爆炸下限 25% 以內。

3. 氫氣管路全程沒有無法流通的角落，管路內徑合理，避免氣體滯留聚集；尾氣持續通入燃燒處理裝置，禁止直接排放密閉空間。

4. 禁止氫氣與強氧化氣體（氧氣、一氧化二氮）近距離同管路混合，兩路氣體需在腔體后端再混合，防止管路內部爆燃。

5. 檢漏優先使用氦檢，避免皂液殘留腐蝕管路；發現漏點立即切斷氣源，通風置換后再維修。

二、有毒有害氣體（硫化氫、一氧化碳、甲醛等）配比注意事項

1. 全部操作必須在通風櫥內完成，操作人員佩戴防毒面具、耐腐手套、防護眼鏡，無關人員禁止進入操作區域。

2. 有毒氣體氣瓶單獨存放，隔離放置，配備專用吸附中和裝置；實驗尾氣經過中和、吸附處理后再排放。

3. 配比濃度嚴格控制在實驗低需求，盡量降低管路內有毒氣體存量，縮短管路長度，減少氣體滯留量。

4. 設備停機吹掃時間延長至 30 分鐘以上，確保管路內有毒氣體被惰性載氣置換，再拆卸管路。

5. 現場常備中和藥劑、應急洗眼裝置，發生氣體泄漏立即關閉氣源，開啟強通風，人員撤離至上風處。

三、強腐蝕性氣體（氨氣、氯化氫等）配比注意事項

1. 氣路全套采用耐腐蝕材質：PTFE、316L 不銹鋼、哈氏合金，普通碳鋼、銅管路嚴禁使用，短期即被腐蝕穿孔漏氣。

2. 管路、MFC 內部密封件選用氟橡膠，普通橡膠密封圈會快速被腐蝕膨脹，造成堵塞與泄漏。

3. 腐蝕性氣體極易吸水形成酸液，氣源前端加裝干燥過濾裝置，全程避免水汽進入管路；低溫環境管路增加伴熱防止凝露腐蝕。

4. 每次實驗結束必須長時間干燥氮氣吹掃，帶走管壁吸附的腐蝕性組分，避免長期殘留腐蝕內部元件。

5. 定期拆解管路、流量計進行清洗保養，腐蝕產生的金屬雜質會堵塞 MFC，造成流量失控。

四、特種氣體配比通用安全注意事項

1. 不同危險氣體氣瓶分區擺放，可燃、氧化、腐蝕性氣瓶分開存放，預留安全隔離距離。

2. 配氣設備獨立放置，不與高溫加熱臺、電爐、激光設備近距離擺放，隔絕熱源。

3. 多人操作制定標準化作業流程，單人獨立操作時安排人員現場監護，禁止無人值守長時間配比實驗。

4. 設備配套壓力過載保護閥，壓力異常自動切斷氣源，防止管路超壓破裂引發氣體泄漏。

5. 定期開展安全培訓，操作人員熟知泄漏應急處置、氣瓶關閥、通風、人員急救全套流程。

五、精度控制額外注意事項