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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
中級會員·2年您現在的位置： 玉崎科學儀器（深圳）有限公司>>ULVAC日本愛發科>> COVOT-CR4原裝現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人
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產品介紹
原裝現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人
原裝現貨ULVAC日本愛發科真空傳輸機器人
可搬運多片晶圓的高吞吐量真空傳送機器人
真空傳輸機器人
COVOT系列Model:COVOT
ULVAC
這是一款清潔型多功能真空搬運機器人，融合了 ULVAC 作為真空設備制造商培養的技術。
COVOT-6-X5
COVOT-CR4
特點
有多種臂可供選擇，以適應行程、轉彎半徑、傳輸板的數量等。
COVOT-CR4 由于其磁流體密封，可在 10-6 Pa 的高真空中使用。
規格
| 型 | COVOT-6-X5 | COVOT-CR4 | |
| 工作壓力區域 | 氣壓～10-1Pa | 氣壓～10-6Pa | |
| 晶圓尺寸 | 200mm/300mm | 200mm/300mm | |
| 持有的晶圓數量 | 4枚 | 2枚 | |
| 最大范圍 * | 880mm | 1050mm | |
| 旋轉角度 | 360° 無窮 | ±180° | |
| 提升行程 | 110mm | 120mm | |
| 最小旋轉直徑 * | 980mm | 960mm | |
| 有效載荷能力（包括手） | 1kg | 1kg | |
| 操作速度 | 伸縮式 | Max 1.5sec / 全行程 | 最大限度 1.5sec/780mm |
| 把 | Max 2.0sec / 180° | Max 2.0sec / 180° | |
| 提升 | Max 1.5sec / 20mm | Max 3.5sec / 105mm | |
| 可重復位置精度 | 伸縮式 | ±0.1mm | ±0.1mm |
| 把 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| 提升 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| 示教器 | 歸屬感 | 歸屬感 | |
| 控制器 | 分開 | 分開 | |
取決于安裝臂和手。
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