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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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產品介紹
原裝ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統
原裝ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統
持續進化的新功能，實現工藝優化的高性能直流電源
脈沖和直流電源系統
直流電源 _Digital DC系列Model: Digital DC
ULVAC
Digital DC 系列是用于濺射的直流電源。它由可靠的元件和電路組成。 它是一種高度可靠的電源，通過在設計中體現我們多年積累的專業知識，包括電源的應用，非常適合等離子負載。
特點
廣泛的高級選項
輕巧且節省空間的設計
輸出電壓範圍為800V規格及HV規格（10/20kw：1000V / 2/4kw：900V）
對等離子體有透徹的理解，進行輸出控制
強制風冷系統無需冷卻水
配備出色的 ARC 功能和高速 ARC 切斷電路
最多可并聯 12 臺機組 （240 kW）（僅限 10/20kW 產品）
兼容 RoHS、CE、SEMI-F47
規格
| Model | DC-2-D | DC-4-D | |
| 輸入規格 | 輸入電壓 | 三相 AC200V/220V | |
| 輸入電容 | 3.5kVA 或更低 | 6.2kVA 或更低 | |
| 輸出規格 | 額定功率 | 2kW | 4kW |
| 額定電流 | 5A | 10A | |
| 額定電壓 | 800V/900V* | ||
| 點火電壓 | 1200V | ||
| 控制 | 控制精度 | 設定值的 ±1% | |
| 控制覆蓋率 | 額定功率值的 1-100% | ||
| 外部控制 | Analog/Digital、串行通信（RS232C 或 RS485）、EtherCAT（可選） | ||
| 并聯運行 | 無 | ||
| 冷卻方式 | 強制風冷 | ||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 241×610×133（mm） | ||
| 質量 | 15kg | ||
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲） | ||
*通常，800V 和 900V 規格是可選的。
| Model | DC-10-D | DC-10-DH | DC-20-D | DC-20-DH | |
| 輸入規格 | 輸入電壓 | 三相 AC208V | |||
| 輸入電容 | 13.5kVA 或更低 | 25kVA 或更低 | |||
| 輸出規格 | 額定功率 | 10kW | 20kW | ||
| 額定電流 | 25A | 18A | 50A | 40A | |
| 額定電壓 | 800V | 1000V | 800V | 1000V | |
| 點火電壓 | 1500V | ||||
| 控制 | 控制精度 | ±額定輸出的 0.5% 或設定值的 ±1% 或更低，以較大者為準。 還提供單獨的高精度選項。 | |||
| 控制覆蓋率 | 額定功率值的 10-100% 還提供單獨的高精度選項。 | ||||
| 外部控制 | Analog/Digital、串行通信（RS232C 或 RS485）、EtherCAT（可選） | ||||
| 并聯運行 | 有 | ||||
| 冷卻方式 | 強制風冷 | ||||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 483×630×133（mm） | ||||
| 質量 | 29kg | 36kg | |||
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲） | ||||
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