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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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產品簡介
| 供貨周期 | 現貨 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,能源,綜合 |
|---|
原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)
產品介紹
原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)
原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統(tǒng)
為實現更優(yōu)質的薄膜沉積過程而提供的可后裝雙極單元
脈沖和直流電源系統(tǒng)
雙極單元 _MFUModel: MFU
ULVAC
MFU 可用作直流電源的外部單元，是一種用于雙陰極濺射的 MF 電源。 它不僅對金屬膜有效，而且對反應沉積也有效。 實現了穩(wěn)定的濺射，而不會損失陽極。
特點
可在 10kHz~100kHz 范圍內使用 *1
主/從連接最多可并聯 6 臺
與我們的直流電源組合使用，可以輕松實現與雙陰極兼容的放電方式。
*1：振蕩頻率超過60kHz 時，輸出功率、電壓和電流會受到限制。
規(guī)格
| Model | MFU-20K | |
| 控制電源輸入 | 輸入電壓 | 単相 AC100-240V |
| 輸入電容 | 400VA 或更低 | |
| 輸入規(guī)格 | 工作電壓 | 0～-1000V |
| 工作電流 | 50A | |
| 額定輸入功率 | 20kW | |
| 輸出規(guī)格 | 振蕩頻率 | 10k-100kHz（輸出限制高于61kHz） |
| 額定輸出電壓 | 1000V（RMS） | |
| 額定輸出電流 | 50A（RMS） | |
| 輸出格式 | Dual Target | |
| 冷卻方式 | 強制風冷 | |
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 480×630×177（mm） | |
| 質量 | 29kg | |
| 適合規(guī)格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲） | |
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