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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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產品介紹
進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統
進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統
脈沖和直流電源系統
脈沖單元 _A2K系列Model: A2K
ULVAC
A2K 系列作為直流電源的外部單元提供，是一種防止異常放電的單元，可將直流輸出轉換為脈沖輸出并中和目標上的電荷。
A2KH-25U
A2K-20K/40K
特點
通過減少異常放電，可以輸入高功率。
可以減少電弧引起的基板損傷。
可連接現有設備 *1
A2KH-25U：1kHz ~ 20kHz，A2K-20K/40K：1kHz ~ 50kHz
可同步多個A2K單元的輸出脈沖 *2 *3
A2K-20K 和 40K 最多可并聯運行 6 臺。
應用：脈沖同步系統
當陰極在同一腔室中彼此靠近且陰極彼此相對時，或者當多個 A2K 的放電發生干擾時，可以通過將 A2K 的反向脈沖設置為同一相位來使用相位控制功能來防止放電的干擾 *3 *4
*1：可連接到我們的直流電源
*2：無法通過混合 A2KH-25U、A2K-20K 和 40K 進行脈沖同步和并聯操作
*3：A2KH-25U 需要外部同步單元 （PHSM/PHSS）
*4：A2K-20K/40K 需要光同步電纜（Pulse link 電纜）
規格
| Model | A2KH-25U | A2K-20K | A2K-40K | |
| 控制電源輸入 | 輸入電壓 | 單相的 AC90-110V | 單相的 AC100-240V | |
| 輸入電容 | 100VA 或更低 | 400VA 或更低 | ||
| 輸入規格 | 工作電壓 | -100～-800V | ||
| 工作電流 | 25A | 50A | 100A | |
| 額定輸入功率 | 10kW | 20kW | 40kW | |
| 輸出規格 | 振蕩頻率 | 1k-20kHz | 1k-50kHz | |
| 反向電壓脈沖寬度 | 5μs/10μs 通過內部開關切換 | 3μ-18μs（振蕩頻率是有限的） | ||
| 操作模式 | 連續/1 脈沖/路徑 | |||
| 輸出格式 | Single Target | |||
| 冷卻方式 | 強制風冷 | |||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 238×450×149（mm） | 480×630×177（mm） | ||
| 質量 | 16kg | 30kg | 45kg | |
| 適合規格 | RoHS（歐洲） | CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲） | ||
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