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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
中級會員·2年您現在的位置： 玉崎科學儀器（深圳）有限公司>>ULVAC日本愛發科>> DC-5-P/DC-10-P進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統
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產品介紹
進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統
進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統
實現穩定反應濺射的直流脈沖電源
脈沖和直流電源系統
直流脈沖電源_DC PULSE系列Model: DC PULSE
ULVA
DC PULSE 系列是一種脈沖電源，可有效抑制無功過程中發生的異常放電。
該電源在設定的周期內反轉輸出電壓，并抵消目標表面的電荷積累（充電），從而抑制異常放電并提高良率和吞吐量。
該電源在設定的周期內反轉輸出電壓，并抵消目標表面的電荷積累（充電），從而抑制異常放電并提高良率和吞吐量。
特點
通過抑制異常放電，可以輸入大功率。
減少電弧引起的基板損傷
輸出的振蕩頻率可設置為 5kHz 至 250kHz。
最多可并聯運行 6 臺（僅限同一型號的組合）
通過改變運行模式，也可以用作具有低電弧功能的直流電源。
規格
| Model | DC-5-P | DC-10-P | |
| 輸入規格 | 輸入電壓 | 三相 AC208V | |
| 輸入電容 | 8kVA 或更低 | 13.5kVA 或更低 | |
| 輸出規格 | 最大額定功率 | 5kW | 10kW |
| 額定電流 | 12.5A | 25A | |
| 額定電壓 | 5k-150kHz：800V、155k-250kHz：650V | ||
| 振蕩頻率 | 5k-250kHz | ||
| 反向電壓脈沖寬度 | 0.4μ-5.0μs | ||
| 點火電壓 | 1500V | ||
| 控制 | 控制精度 | ±額定輸出的 0.5% 或設定值的 ±1% 或更低，以較大者為準。 | |
| 控制保修范圍 | 額定功率值的 10-100% | ||
| 外部控制 | Analog/Digital、通信（RS232C 或 RS485） | ||
| 并聯運行 | 有 | ||
| 冷卻方式 | 強制風冷 | ||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 483×630×133（mm） | ||
| 質量 | 29kg | 36kg | |
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（歐洲） | ||
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