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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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產品介紹
ULVAC用于金屬薄膜生產的高通用性電子槍
ULVAC用于金屬薄膜生產的高通用性電子槍
適用于金屬薄膜生產的高通用性電子槍，擁有豐富的應用實例
電子槍
用于金屬的EB源_EGL系列Model: EGL
ULVAC
EGL 系列電子束蒸發源是 ULVAC 多年技術積累和業績記錄的結果，旨在提高性能和可靠性。 EGL 系列擁有各種類型的噴槍陣容，可用于任意多層薄膜沉積、厚膜的高速沉積和超高真空實驗。
EGL-103S
EGL-35
EGL-35M
EGL-110
EGL-80M
特點
由于電子束被電磁場偏轉，因此二次電子對沉積體的影響極小。
即使是可升華的材料，也可以通過掃描 X 軸和 Y 軸上的光束點來順利蒸發，從而消除挖洞現象。 （日本國 831485 號 843447）
電子束是 270° 偏轉的，因此不會暴露在蒸發材料的蒸氣中，燈絲的使用壽命長。
發射器組件易于安裝和拆卸，便于更換燈絲、絕緣體等。
規格
| Model | EGL-103S | EGL-35 | EGL-35M | EGL-110 | EGL-80M | |
| 電子束偏轉角 | 270° | |||||
| 坩堝數量 | 3 | 1 | 4 | 1 | 4 | |
| 坩堝容量 | 10cc | 40cc | 40cc ×2/10cc×2 | 110cc | ||
| 坩堝尺寸： 頂部 × 底部× 深度 | 35Φ×31Φ×11H（mm） | 50Φ×41Φ×25H（mm） | 50Φ×41Φ×25H（mm）/32Φ×24Φ×15H（mm） | 75Φ×59Φ×32H（mm） | 75Φ×57Φ×32H（mm） | |
| 冷卻水量 | 爐邊 | 10L/min 或更高 | 19L/min 或更高 | 20L/min 或更高 | ||
| 其他 | 2L/min 或更高 | - | 2L/min 或更高 | ー | 4L/min 或更高 | |
| 尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 313×250×108（mm） | 160×206×79（mm） | 170×240×156（mm） | 136×220×90（mm） | 265×318×168（mm） | |
| 質量 | 約16公斤 | 約10公斤 | 約18公斤 | 約15公斤 | 約30公斤 | |
| 沉積速率 | - | 1.8μm/min 或更高 （Al/8kW/ハ爐膛正 上方 250H） | 1.6μm/min 或更高 （Al/8kW/爐膛正上方 250H） | 4.5μm/min 或更高 （Al/16kW/爐膛正 上方 250H） | 4μm/min 或更高 （A| 16kW,/爐膛正 上方 250H） | |
| 最大加速電壓 | -10kV | |||||
| 最大發射電流 | 0.6A | 1.0A | 1.6A | |||
| 適用電源 | HPS-1000N-100/HPS-1000N-200 | HPS-1600F-DS100/HPS-1600F-DS200 | HPS-1600F-DS101 | |||
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