
產品簡介:
空氣制冷卡盤系統,使用加壓空氣對卡盤進行主動冷卻。由于它在卡盤內不使用帕爾貼元件或液氮等流體,因此它已成為業內不折不扣的可靠性和高溫穩定性的代名詞。因其安靜的純空氣運行和高絕緣性而被證明特別適用于低噪音測試。其優雅的結構使其成為高溫測試以及高平面和高壓應用開發的理想選擇。
可選尺寸規格:6英寸(150mm直徑)8英寸(200mm直徑)?12英寸(300mm直徑)

功能特點:
JKZC-ISC系列配備了穩定的氣體冷卻和相應的冷卻機,提供了一個非常廣泛的測試溫度范圍。
僅使用空氣冷卻--無液體或帕爾貼元件
溫度范圍為-60°C到300°C
可選三同軸接口,以實現pA測試
冷卻劑占地面積小,節省空間無需額外的吹氣裝置
結構緊湊,可集成各大主流生產型或是分析型探針臺兼容
可集成全套的軟硬件于一體
可編程控溫,涵蓋不同溫度段(具體由選擇型號而定)
通過觸摸屏或軟件編程,實現多段溫度曲線設定、自動保存數據
卡盤盤面材質可按需求提供
可提供軟件SDK開發包
溫控卡盤種類(可多選)或按您的需求定制
溫控參數:
可用的溫度上限 | +150℃至 +300℃ |
可用的溫度下限 | -60 (200 mm),-55℃ (300 mm) |
卡盤溫度顯示分辨率 | 0.001℃ |
下限溫度選擇步驟 | 0.1℃ |
溫度精度 | ±0.1?℃ |
冷卻劑 | 空氣(用戶提供) |
卡盤頂部和 GND 之間的電壓 | 500 V DC(可提供高達 10 kV 的高壓選項) |
傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD / PID控制(含LVDC降噪電源) |
卡盤表面電鍍 | 鎳(提供金或非導電) |
300 mm系統的冷卻速率 | +150℃至+25℃:25 分鐘 +200°C至 +25°C: 30 分鐘 +300°C至 +25°C: 40 分鐘 +25°C至 -20°C: 15 分鐘 +25°C至 -40°C: 35 分鐘 +25°C至-55°C:65 分鐘 |
300 mm系統的加熱速率 | -55°C至 +25°C: 12 分鐘 -40°C至 +25°C: 10 分鐘 +25°C至 +150°C:20 分鐘 +25°C至+200°C:28分鐘 +25°C至+300°C:40 分鐘 |
溫度均勻性 | -55 °C 至 +200 °C < ±0.5 °C > 200 °C < ±0.5 % |
臺面平面度 | 55 °C 至 +300 °C < ±12μm(可根據用戶要求定制更緊密的范圍) |
軟件功能 | 可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線 |
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