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當前位置：如皋市原野勘察機械廠>>先進材料測試儀器>>壓電陶瓷元件>> JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺
產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
更新時間：2026-05-18 10:11:48瀏覽次數(shù)：79次
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺
JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺
JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
1、典型應用
光學對準
納米壓印
顯微成像/操縱
表面檢測
高密度存儲
測量技術
半導體加工
2、技術特點
亞納米級分辨率
超高定位精度
無摩擦柔性較鏈導向
可正置/倒置
超高真空兼容性
高速、高動態(tài)
多運動模式：定位/掃描
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-3CD-300 | 單位 | |
運動觸數(shù) | 3 | |
驅(qū)動類型 | 壓電陶瓷 | |
閉環(huán)行程 | 300x300x300 | μm |
閉環(huán)分辨率 | 2 | nm |
重復定位精度 | 10 | nm |
XY/Z向上的無負載諧頻率 | 600/600/550 | Hz |
最大負載 | 40 | g |
傳感器類型 | 電容傳感器 | |
尺寸(LxWxH) | 170x170x36.5 | mm |
白重 | 1778 | g |
電氣接口 | D-sub9/可定制 | |
工作泗度 | -20-80 | ℃ |
屏蔽線纜長度 | 2 | m |
材料 | 鋁合金 |
5、適配控制器
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