13806273127
當前位置：如皋市原野勘察機械廠>>先進材料測試儀器>>壓電陶瓷元件>> JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 環保,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合 |
|---|
JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺
JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺
Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執行器實現超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統實現閉環控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態軌跡掃搭功能。
1、典型應用
光學對準
納米壓印
顯微成像/操縱
光柵刻寫
雙光子聚合
光學移相
晶圓檢測
表面檢測
測量技術
半導體加工
2、技術特點
超高定位精度
高動態
無摩擦柔性較鏈導向
超高真空兼容性
多運動模式:定位/掃描
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC-ST-Z | 單位 | |||
運動觸數 | 1 | |||
驅動類型 | 壓電陶瓷 | |||
閉環行程 | 50 | 100 | 200 | μm |
分辨率 | 0.35 | nm | ||
最小步長 | 0.5 | nm | ||
無負載諧振頻率 | 800 | Hz | ||
運動方向最大負載 | 5 | kg | ||
傳感器類型 | 電容傳感器 | |||
尺寸(LxWxH) | 90x36.5x90 | mm | ||
白重 | 685 | g | ||
電氣接口 | D-sub9/可定制 | |||
工作泗度 | -20-80 | ℃ | ||
屏蔽線纜長度 | 2 | m | ||
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10") | mbar | ||
*真空版可選
5、適配控制器
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
化工儀器網