您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
13806273127
當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> JKZC-NHR高精度角度臺(tái)
JKZC-NHR高精度角度臺(tái)
JKZC-NHR高精度角度臺(tái)專用10°范圍內(nèi)高分辨率θ定位移動(dòng)，基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及特殊設(shè)計(jì)的驅(qū)動(dòng)和納米伺服技術(shù)，具有納米級(jí)重復(fù)定位精度，可實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)行程士5°的俯仰調(diào)節(jié)。
1、典型應(yīng)用
掃描電鏡(SEM)樣品操縱
主動(dòng)光學(xué)
超分辨成像樣品移動(dòng)
大范圍電子束直寫(EBL)
微納裝備及制造
集成電路制造與檢測
高真空樣品精度對準(zhǔn)及調(diào)姿
納米聚焦與掃描
顯微及納米CT
2、技術(shù)特點(diǎn)
超長運(yùn)動(dòng)行程：士5°
高分辨率：閉環(huán)分辨率為0.0175μrad
運(yùn)動(dòng)速度：可達(dá)3°/s
負(fù)載：500g
超高真空兼容性
運(yùn)動(dòng)模式：支持開環(huán)與閉環(huán)
輕量化、結(jié)構(gòu)緊湊，高可靠性
模塊化設(shè)計(jì)，摩擦單元可替換
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-NHR-60.5* | JKZC-NHR-77.5* | 單位 | |
傳感器類型 | 光柵編碼器(玻璃柵尺 | ||
行程 | ±5 | ° | |
最大負(fù)載 | 500 | g | |
旋轉(zhuǎn)中心(工作平臺(tái)) | 60.5 | 77.5 | mm |
驅(qū)動(dòng)類型 | 壓電陶瓷 | ||
角速度 | 3 | °/S | |
最小步長 | 0.5 | μrad | |
自重 | 150 | 150 | g |
尺寸(LxWxH) | 50x50x16.5 | 50x50x16.5 | mm |
工作溫度 | 10~50 | ℃ | |
電氣接口 | D-sub9 | ||
線纜長度 | 2 | m | |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | ||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10-9) | mbar | |
5、適配控制器
請輸入賬號(hào)
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
