您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
13806273127
當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺(tái)
JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺(tái)
JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺(tái)
Z軸納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃搭功能。
1、典型應(yīng)用
光學(xué)對(duì)準(zhǔn)
納米壓印
顯微成像/操縱
光柵刻寫
雙光子聚合
光學(xué)移相
晶圓檢測(cè)
表面檢測(cè)
測(cè)量技術(shù)
半導(dǎo)體加工
2、技術(shù)特點(diǎn)
超高定位精度
高動(dòng)態(tài)
無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向
超高真空兼容性
多運(yùn)動(dòng)模式:定位/掃描
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-ST-Z | 單位 | |||
運(yùn)動(dòng)觸數(shù) | 1 | |||
驅(qū)動(dòng)類型 | 壓電陶瓷 | |||
閉環(huán)行程 | 50 | 100 | 200 | μm |
分辨率 | 0.35 | nm | ||
最小步長 | 0.5 | nm | ||
無負(fù)載諧振頻率 | 800 | Hz | ||
運(yùn)動(dòng)方向最大負(fù)載 | 5 | kg | ||
傳感器類型 | 電容傳感器 | |||
尺寸(LxWxH) | 90x36.5x90 | mm | ||
白重 | 685 | g | ||
電氣接口 | D-sub9/可定制 | |||
工作泗度 | -20-80 | ℃ | ||
屏蔽線纜長度 | 2 | m | ||
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10") | mbar | ||
*真空版可選
5、適配控制器
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
