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JKZC-CS-64 Tripod
JKZC-CS-64 Tripod
JKZC-CS Tripod為適應(yīng)緊湊及模塊化的多軸運動系統(tǒng)，采用精密粘滑式壓電驅(qū)動，并聯(lián)剛?cè)狁詈蠙C構(gòu)，在保證工作空間內(nèi)高剛度的基礎(chǔ)上，提供超精密的連續(xù)偏擺與升降。
1、典型應(yīng)用
樣品檢驗
精密微組裝
光路切換
顯微及納米CT
機器視覺
半導(dǎo)體檢測
2、技術(shù)特點
高精度、高穩(wěn)定性
串并混聯(lián)優(yōu)化
空間精密調(diào)姿
緊湊化/輕量化/模塊化設(shè)計
3、2D尺寸圖
規(guī)格參數(shù)
JKZC-CS-64 | 單位 | |
運動軸 | Z,θx,θY | |
傳感器類型 | 光柵編碼器 | |
驅(qū)動類型 | 壓電陶瓷 | |
Z向行程 | ±2 | mm |
θx,θY行程 | ±2,±2 | |
Z向重復(fù)定位精度 | 500 | nm |
θx,θY重復(fù)定位精度 | 10,10 | μrad |
Z向最大速度 | 4 | mm/s |
θx,θY最大速度 | 1.5 | °/s |
中心負載能力 | 3 | N |
自重 | 1 | kg |
尺寸(LxWxH) | 150x125x64 | mm |
工作溫度 | 10-50 | ℃ |
電氣接口 | D-sub9 | |
屏蔽線纜長度 | 2 | m |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10-9) | mbar |
4、適配控制器
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