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高精度Hexapods
JKZC系列 高精度六自由度并聯(lián)運動平臺可實現(xiàn)多自由度運動，動態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導體制造等。
1、典型應(yīng)用
半導體封測
主動光學
生物技術(shù)
視覺裝配
顯微操縱
光纖校準
2、技術(shù)特點
亞納米級定位穩(wěn)定性
納米級閉環(huán)運動分辨力
無摩擦柔性鉸鏈導向
大負載
空間多自由度
各級真空兼容性
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
支持非標定制 | JKZC-TM-130 | 單位 |
運動軸 | X,Y,Z,θx/θY/θz | |
傳感器類型 | 絕對式圓光柵 | |
驅(qū)動類型 | 無刷直流電機 | |
X/Y/Z閉環(huán)行程 | ±24/±24/±10 | mm |
θx/θY/θz閉環(huán)行程 | ±13/±13/±30 | ° |
X/Y/Z方向上的最小位移 | 0.1 | μm |
θX/θY/θZ方向上的最小位移 | 0.5 | arcsec |
X/Y/Z單向重復定位精度 | ±0.25 | μm |
θX/θY/θZ單向重復定位精度 | ±0.3 | arcsec |
X/Y/Z向的最大速度 | 5 | mm/s |
θX/θY/θZ向的最大速度 | 14.3 | deg/s |
水平方向承載能力 | 10 | kg |
任意方向承載能力 | 1.5 | kg |
材料 | 鋁合金/不銹鋼 | |
工作溫度 | 0-50 | ℃ |
尺寸 | φ155x130 | mm |
5、適配控制器
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