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JKZC-CDM-0x系列微位移傳感器主機(jī)專(zhuān)為緊湊型應(yīng)用設(shè)計(jì)，內(nèi)置前置放大器、濾波器和信號(hào)調(diào)理電路，并針對(duì)適配探頭進(jìn)行驅(qū)動(dòng)優(yōu)化，適合于集成型應(yīng)用。

以多通道控制器為核心的電容式微位移傳感器用于對(duì)指標(biāo)有著求的超精密測(cè)量應(yīng)用。內(nèi)置不同的工作模式來(lái)分別適應(yīng)以靜態(tài)指標(biāo)為主的計(jì)量型測(cè)量和以動(dòng)態(tài)指標(biāo)為主的實(shí)時(shí)應(yīng)用，以及兼顧動(dòng)態(tài)和靜態(tài)指標(biāo)的高帶寬超精密反饋控制系統(tǒng)應(yīng)用。多通道控制器內(nèi)置通道同步功能，支持最多6

納米微位移傳感器主機(jī)

納米微位移傳感器主機(jī)

JKZC-CDM-0x系列微位移傳感器主機(jī)專(zhuān)為緊湊型應(yīng)用設(shè)計(jì)，內(nèi)置前置放大器、濾波器和信號(hào)調(diào)理電路，并針對(duì)適配探頭進(jìn)行驅(qū)動(dòng)優(yōu)化，適合于集成型應(yīng)用。

以多通道控制器為核心的電容式微位移傳感器用于對(duì)指標(biāo)有著求的超精密測(cè)量應(yīng)用。內(nèi)置不同的工作模式來(lái)分別適應(yīng)以靜態(tài)指標(biāo)為主的計(jì)量型測(cè)量和以動(dòng)態(tài)指標(biāo)為主的實(shí)時(shí)應(yīng)用，以及兼顧動(dòng)態(tài)和靜態(tài)指標(biāo)的高帶寬超精密反饋控制系統(tǒng)應(yīng)用。多通道控制器內(nèi)置通道同步功能，支持最多6通道的同步測(cè)量，用于厚度檢測(cè)、旋轉(zhuǎn)偏差校正等應(yīng)用。

納米微位移傳感器主機(jī)

1、應(yīng)用領(lǐng)域

納米級(jí)運(yùn)動(dòng)測(cè)量

精密光學(xué)制造

超精密機(jī)床

超精密面型測(cè)量

微細(xì)形變測(cè)量

集成電路制造

2、技術(shù)特點(diǎn)

高精度

兼容動(dòng)態(tài)和靜態(tài)指標(biāo)

可設(shè)置多通道同時(shí)輸出和每個(gè)通道獨(dú)立輸出

體積小、重量輕，通過(guò)連接主體兼容多個(gè)通道

3、規(guī)格參數(shù)：

納米微位移傳感器主機(jī)

規(guī)格型號(hào)：

型號(hào)	JKZC-CDM-100S	JKZC-CDM-100S	JKZC-CDM-100S	CDN300+前置放大器CPA110	CDN600+前置放大器CPA110
適配探頭	JKZC/506-100	JKZC/510-200	JKZC/20-2000
遞道數(shù)	1	1	1

電氣特征：

輸出		模擬	模擬	模擬		搜:可乳,默認(rèn)士5V基分;通d: USB,Ethemet,EtherCAT,CAN,RS232實(shí)時(shí):SPI	搜:可乳,默認(rèn)士5V基分;通d: USB,Ethemet,EtherCAT,CAN,RS232實(shí)時(shí):SPI
電源		±15VDC	±15VDC	±15VDC		220WAC	220WAC
內(nèi)置前置放大器		是	是	是	靜態(tài)分辨率	0.00004%FSR	0.00004%FSR
量程		100um	200um	2000um	動(dòng)態(tài)分辨率@2kHz	0.00013%FSR	0.00013%FSR
分辣率RMS	2Hz	0.02nm	0.04nm	0.31nm	帶寬	可調(diào)，默認(rèn)2kHz	可調(diào),默認(rèn)2kHz
	25Hz	0.04nm	0.08nm	0.78nm	數(shù)據(jù)輸出速率	可調(diào)，默認(rèn)3*10kHz	可調(diào)，默認(rèn)6*10kHz
	1KHz	0.11nm	0.21nm	1.16nm	重復(fù)性	0.00017%FSR	0.0001T%FSR
	2KH2	0.15nm	0.30nm	1.53nm	線性度	0.00017%FSR	0.015%FSR
默認(rèn)帶寬		2kHz	2kHz	2kHz	同步測(cè)量	支持	支持
重復(fù)性		0.21nm	0.39nm	2.1nm	觸發(fā)輸出	4路TTL。事件可配置	8路TTL。事件可配置

其他:

工作溫度范圍	-20-100°C	0-70°C	0-70°C
請(qǐng)用探頭電攬	1.5m,2m.2.5m	1.5m,2m.2.5m	1.5m,2m.2.5m
尺寸	CDM-006/CDM 300/CDM 600	342mmx250mmx132mm	150mmx250mmx 132mm

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