MINI-X1-Y1-Z1系列六軸光纖耦合平臺專業針對光纖耦合環節設計，創新性地在ART130系列大行程運動臺（XYZ軸行程可按客戶需求定制）的基礎上，集成了三軸微型精密調整機構，實現“大范圍粗調+納米級精調"一體化操作，各軸重復定位精度均可達到±100nm以內。產品適應絕大多數光通訊模塊的應用，具有精度高、穩定性高、性價比高的產業化集成優勢。

與以往壓電微型臺調整方案不同，我們還是使用自研直線電機和交叉滾柱導軌，MINI軸的微動行程可以做到±1mm，運動整定時間可達200μm@±50nm @30ms。MINI-X1-Y1-Z1系列六軸光纖耦合平臺超高的精度與小巧的體積，更為輕便的重量與更廣泛的行程，使其更適合需要頻繁、快速、大范圍來回運動的耦合場景。

MINI XYZ在位穩定性

MINI X軸整定速度

MINI Y軸整定速度

MNI Z軸整定速度

備注：

(1) 適配-AS反饋，線性放大器;

(2) 空載，需配置相應功率的放大器；

(3) 默認測試點位置為臺面上方25mm。