量程≥1% O?:±0.5%FS(全系東麗最高精度)
量程<1%(ppm 區間):±1.0% FS 或 ±0.1ppm,取數值更大者
24 小時空氣零點穩定性:≤±1% FS,長期漂移極小
適用:真空腔體 ppb 級微量氧監控,鍍膜、退火產線
≥10ppm 量程:重復性 ±1%FS
10ppm~1% 低量程:重復性 ±2%FS
T90 響應≤30s,常規工業場景精度足夠,性價比高
0~1000ppm 區間:±2% FS
≥1% VOL 中高氧(LC-750H):±3% FS
備注:10ppm 以下超微量區間僅作參考,無原廠精度質保
行業常說精度 = 重復性,東麗原廠手冊只標注重復性,線性誤差基本與重復性持平;
分辨率:ppm 檔 0.01ppm,百分比檔 0.01%;
校準周期正常工況 12 個月,潔凈真空環境可延長至 18 個月。
測量精度:±1% FS(典型)
重復性:±0.5% FS,自帶自動溫度補償消除液溫誤差
線性誤差:≤±0.8% FS
響應速度:≤2s,24h 連續在線配液監控
適用:晶圓清洗、涂布藥液濃度閉環控制,日系工廠標準管控設備
TOC-780L(超高靈敏度,超純水)
線性誤差:≤±2% FS 或 ±0.05mgC/L,取更大值
檢出限:<0.02mgC/L
TOC-250L(實驗室常規款)
線性:≤±2% FS,檢出限 0.05mgC/L
長期穩定性強:全系 24h 零點漂移≤±1% FS,不用頻繁校準;
溫度自動補償:氣體 / 液體機型均內置溫補,環境波動不影響測量精度;
真空分體 LD 系列精度梯隊,對標堀場、富士,優于國產普通氧分析儀;
液體近紅外無耗材、無取樣稀釋誤差,在線連續測量重復性穩定。
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