• 測量原理：變面積錐形管 + 浮子浮力平衡，無需供電，自帶一體式精密微調針閥，現場直觀讀取流量，手動調節流量大小。

• 測量原理：熱擴散傳感，直接測量氣體質量流量，不受溫度壓力波動影響，內置電磁閥閉環自動穩定流量，可對接 PLC 自動化產線。

• 核心系列區分

  1）3200 系列（標準半導體款，替代老款 3910）

• 符合 SEMI 半導體標準 Dsub9 接口，隔膜閥低死體積、常閉安全閥門；

• 量程：10sccm~10SLM，響應＜1s，精度 ±1% FS；

• 適用：晶圓擴散、氧化、等離子清洗、旋涂機工藝配比氮氣 / 氧氣 / 氬氣。

  2）ST-500/ST-550 數字 MFC

• 帶本地數顯屏幕，支持 RS485 Modbus、0-5V/4-20mA 雙信號；

• ST550 全金屬密封，極低氦泄漏率，適配高真空、強腐蝕特種氣體（硅烷、氯氣）。

  3）EX-550 防爆 MFC

• IECEx 本安防爆認證，適配 IPA、光刻膠等易燃易爆氣體環境，旋涂、濕制程防爆氣路專用。

• 輸出通訊：模擬 0-5V/4-20mA、RS485 數字通訊，支持電腦軟件修改量程、切換氣體種類（N?/Ar/O?/H?/He 通用轉換）。

• 量程與精度

• 超微量：0.5mL/min 起，最大 200L/min；常規精度 ±2% FS，高精密金屬管款可達 ±1% FS。

KOFLOC 中文名稱科賦樂，1949 年日本京都小島制作所創立，專精微量氣體 / 高純液體精密流量測量與閉環控制，是半導體、面板、光伏、實驗室微流控日系流量品牌，國內設有上海全資子公司「科賦樂精密儀器（上海）有限公司」，配套完整技術支持與現貨分銷體系。

品牌核心優勢：覆蓋浮子流量計、熱式 MFC 質量流量控制器、PFA 液體渦街 / 超聲波流量計、精密穩流閥四大產品線，全系列支持潔凈耐腐蝕材質，適配你常接觸的 MIKASA 旋涂、半導體濕制程、高純氣路配套工況。

（一）RK 系列 浮子轉子流量計（無源可視，出貨量最大）

（二）ST/3200/EX 系列 熱式 MFC 質量流量控制器
ST/3200/EX 系列 熱式 MFC 質量流量控制器

代理銷售各類工業品:，USHIO牛尾（點光源）CCS西西愛視，AITEC艾泰克（光箱、光源、圓形環形光），LEIMAC 雷馬克、HOYA光源

，REVOX萊寶克斯，Hitachi日立科學儀器、SIMCO思美高（離子棒），SSD西西蒂(離子風扇)，KASUGA春日(離子棒)、MUSASHI武藏點膠機（點膠機）,Nordson諾信EFD（點膠機），IEI巖下（點膠機），EPSON愛普生機器人，KURABO倉紡（脫泡機），日本THINKY新基脫泡機，TAGAWA十川（軟管），SHOWA昭和電機（鼓風機），TSUBAKI椿本鏈條，KIKUSUI菊水（電源），CEDAR思達（扭力測試儀），MEISEI邁澤（電熱剝線器）、artray相機、TAKASAGO高砂制作所（直流電源）、RION理音（測振儀）、HOKUTO DENKO北斗電工、TML東京測器、SIGMAKOKI西格瑪光機、FLOWELL 福威、ASAHI旭有機材、KYOWA共和（應變片）、ONOSOKKI小野（傳感器）、FUJIKURA藤倉（單向閥）、SK新瀉精機（水平測量尺）SKSATO佐藤（溫度記錄儀）、TECLOCK得樂（硬度計）、AND愛安得（電子天平）、KEM京都電子（水分儀）、TOHNICHI東日（扭力扳手）、ULVAC愛發科泵、IWAKI易威奇、SAN-EI三英(點膠閥）（泵）、kashiyama柏山（干式泵）、MARUYAMA丸山(泵)、、Kanetec強 力(高斯計)、SAKURAI櫻井(無塵紙)、NIRECO尼利可(傳感器)、TOFCO東富科(流量計)、eoptics頤光科技(反射膜厚儀)、TOKYO KEISO東京計裝(超聲波液位計)、RKC理化工業(數顯控制器)、YAMATO雅瑪拓（恒溫箱）、YAMADA雅瑪達(隔膜泵)、KOFLOC小島(浮子流量計）、KITZ開滋(閥門)、CKD喜開理(氣缸)、NYS西村化工(半導體)、三菱重工MHI 蝸輪減速機、Kanomax加野、PISCO碧士克、TOYO光通信器、FUJILATEX***精器、MIKI PULLEY三木普利、KONSEI近藤製作所 、SGK昭和技研、KOSEMK考世美、shibuya澀谷光學、hakko八光電機、Iwasaki巖崎、OTSUKA大塚電子（光學膜厚儀）、KOSAKA小坂（臺階儀）、HORIBA堀場儀器（分析儀）、SIBATA柴田科學（環境測定）、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、yamada山田鹵素強光燈、CEDAR思達、MIKASA米卡薩（旋涂設備、顯影）、POLARION普拉瑞、otsuka大塚（膜厚儀、粒度儀）、Tsubosaka壺坂電機,IMV愛睦威,PISCO匹士克接頭,hakko八光電機,lambda拉姆達膜厚