一、自研 HDC-AC 高頻電離核心，除靜電效率、穩(wěn)定性碾壓普通交流風機

1. 離子平衡長期穩(wěn)定 ±10V 以內(nèi)

   行業(yè)頂尖殘余電壓控制，300mm 標準距離正負離子差值穩(wěn)定≤10V，長時間連續(xù)運行漂移極小，不會出現(xiàn)普通風機越用偏壓越大、擊穿芯片的風險。

2. 除靜電速度快

   10kV 高壓工件降至 100V 僅需 0.2~1 秒，適配 MIKASA 旋涂、探針臺、芯片擺盤高速自動化工位，避免靜電吸附光刻膠顆粒、晶圓微塵缺陷。

3. 離子覆蓋均勻

   標配廣角 / 直通雙風窗可互換：廣角款柔和擴散氣流，不會吹飛微型晶圓、0201 元件；直通款遠距離集中除靜電，一臺覆蓋多工位，不用多臺風機疊加。

二、超低臭氧、潔凈低析出，適配 Class100/1000 無塵半導體車間

1. 臭氧釋放量＜0.04ppm

   遠低于國標與 SEMI 半導體標準，旋涂機、光刻區(qū)域大量有機溶劑（IPA、光刻膠）環(huán)境無臭氧氧化污染，不會腐蝕感光涂層、損傷晶圓表面。

2. 低發(fā)塵放電針方案

• 標準款：鎢合金 / 鈹銅電極，磨損粉塵析出少，清潔周期比國產(chǎn)風機延長 3 倍；

• 晶圓超潔凈款 CABX-UC：硅 / 玻璃放電針，無重金屬脫落，12 寸 FAB、FOUP 清洗工位專用，杜絕顆粒污染良率下降。

3. 整機外殼防靜電 ABS，自帶前置可拆卸初效濾網(wǎng)，攔截空氣中粉塵，防止電極積污影響電離效果，拆裝清洗無需工具。

三、DC24V 內(nèi)置一體化高壓，設(shè)備內(nèi)嵌集成安全便捷

1. 無外置高壓盒

   風機機身內(nèi)置壓電式高壓變壓器，僅低壓 DC24V 供電布線，不用單獨走高壓線纜，設(shè)備機柜、旋涂腔體內(nèi)部內(nèi)嵌安裝布線簡潔，降低漏電、打火安全隱患。

2. 整機低電壓安全，觸碰外殼無電擊風險，適配防爆濕制程、有機溶劑車間。

四、全智能故障監(jiān)測，支持 PLC 自動化聯(lián)動（產(chǎn)線剛需）

1. 多重異常自檢報警

   實時監(jiān)測三類故障：高壓失效、風機停轉(zhuǎn)、電極積污超標，紅綠 LED 指示燈直觀提示，搭配無源 MOSFET 繼電器信號輸出，可對接設(shè)備 PLC、產(chǎn)線報警系統(tǒng)，異常自動停機，避免無離子工況批量報廢晶圓 / 元器件。

2. 內(nèi)置清潔計時提醒，記錄電極使用時長，到保養(yǎng)周期自動亮燈，不用人工定期檢測，降低運維漏檢風險。

五、結(jié)構(gòu)輕量化、可調(diào)安裝，適配狹小設(shè)備腔體

1. 臺式 BF-X 系列機身輕薄小巧（BF-X2ZB 僅 104×126×60mm，約 500g），旋涂機臺面、探針臺狹小空間均可壁掛 / 立式擺放。

2. 機身俯仰角度可鎖死，設(shè)備震動不會偏移吹風方向；風窗、放電針徒手快拆更換，維護 5 分鐘完成，不用整機拆卸。

3. 長條 CABX 風棒長度 300~1500mm 全覆蓋，適配基板傳送、涂布、薄膜分切整條流水線同步除靜電。

六、防爆 / 防腐全系列細分，匹配半導體濕制程易燃易爆工況

1. 針對旋涂、顯影、清洗機 IPA、稀釋劑易燃環(huán)境，有低火花、低臭氧防爆型離子風機，無放電引燃溶劑風險。

2. 接液周邊配套機型整機耐腐蝕涂層，耐受酸堿藥液揮發(fā)腐蝕，長期在濕制程環(huán)境不易老化。