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創(chuàng)立:1954 年(日本東京),日系老牌流量 / 液位儀表龍頭,日本量產(chǎn)金屬轉(zhuǎn)子流量計(jì)廠商
總部:東京港區(qū)芝公園,資本金 9930 萬日元,本部員工 658 人(2025),日本橫濱、沖繩設(shè)生產(chǎn)工場(chǎng)
主營(yíng)定位:精密流量計(jì) + 液位開關(guān)全品類研發(fā)制造,日本儀表行業(yè)頭部品牌,半導(dǎo)體濕制程標(biāo)配儀表品牌
1954 成立,起步轉(zhuǎn)子流量計(jì);
1981 與德國科隆 Krohne 技術(shù)合作,推出電磁流量計(jì);
1983 自研熱式質(zhì)量流量計(jì),1986 量產(chǎn)半導(dǎo)體 MFC 質(zhì)量流量控制器,切入晶圓制程;
90 年代研發(fā)PFA 超聲波流量系統(tǒng)、FB 系列浮球液位開關(guān),成為日系半導(dǎo)體設(shè)備原廠配套標(biāo)配;
2005 年起落地中國本土化布局,逐步建成產(chǎn)銷研體系
FB-5000 側(cè)裝干簧浮球液位開關(guān)(304/316L/PTFE 防腐 / 防爆 EX,半導(dǎo)體藥液罐標(biāo)配)
FB6000 雙點(diǎn)位液位、頂裝浮球、連桿液位計(jì),酸堿 / IPA 儲(chǔ)槽通用
P 系列玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì) P810/P050:機(jī)臺(tái)氮?dú)獯祾摺⑿×髁克幰耗恳曈?jì)量,設(shè)備原廠標(biāo)配
FC/CLFC/UCUF 超聲波流量控制系統(tǒng)(FC6000、CLFC300):PFA 全氟,HF 強(qiáng)酸、顯影液、CMP 漿料微量控流,抗氣泡是核心賣點(diǎn)
HM 系列熱式氣體 MFC:HM6500/HM9700,腐蝕工藝氣體 (HCl/HI)、第三代半導(dǎo)體 SiC 制程供氣控制,對(duì)標(biāo) HORIBA、KOFLOC
金屬轉(zhuǎn)子、電磁、科里奧利質(zhì)量流量計(jì)(TCM 系列,
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