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NanoFocus半導體晶圓檢測設備（人工裝載）產品參數
分辨率 | X & Y軸: 0.5-2.5um; |
|---|---|
Z軸：0.016 um; | |
取樣率 | 20000 Hz |
工作距離 | 8 mm |
掃描寬度 | 630 um |
高度范圍 | 300 um – 400 um |
機臺尺寸 | 400mm x 400mm（可定制） |
KOSAKA小坂研究所半導體晶圓檢測設備
● 高成本效益設備。● 一次掃描涵蓋所有凸塊，產出真實3D數據。● 適用于SEMI標準。● 適用于所有基板類型。● C4, solder ball, Cu-pillars, SRO, …。● 適用于4"，6"，8"晶圓 。● 工業標準數據端口。
KOSAKA小坂研究所半導體晶圓檢測設備
● 高成本效益設備。● 一次掃描涵蓋所有凸塊，產出真實3D數據。● 適用于SEMI標準。● 適用于所有基板類型。● C4, solder ball, Cu-pillars, SRO, …。● 適用于4"，6"，8"晶圓 。● 工業標準數據端口。
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