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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
NT1520臺階儀
產品參數:
KOSAKA小坂研究所臺階儀NT1520
樣品尺寸 | φ220×厚度10mm；可對應4、6、8寸晶圓 |
再現性 | 1σ 0.3nm以內 |
測量范圍 | Z:1300µm X:205mm Y:280mm |
分辨率 | Z:0.1nm X:0.01µm Y:0.1µm |
測定力 | 30µN～600µN，選配：0.5µN～ |
KOSAKA小坂研究所臺階儀NT1520
產品概述：
• 測量膜厚、段差，建立配方后可自動測量。
• 直動式檢出器，更高精度，高再現性。
• X、Y方向兩軸測量，工件放置不受限。
• 可搭載機械手臂，實現在線全自動測量。
產品概述：
• 測量膜厚、段差，建立配方后可自動測量。
• 直動式檢出器，更高精度，高再現性。
• X、Y方向兩軸測量，工件放置不受限。
• 可搭載機械手臂，實現在線全自動測量。
產品概述：
• 測量膜厚、段差，建立配方后可自動測量。
• 直動式檢出器，更高精度，高再現性。
• X、Y方向兩軸測量，工件放置不受限。
• 可搭載機械手臂，實現在線全自動測量。
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