武藏MUSASHI全自動晶片水準點膠機器FAD5100S-WH
實現后端過程FAD5100系列的進化形。
被自自設定晶片上的設備排列。為程序人工數的大幅度的削減做貢獻。
? 出自無停止連續動作的高速的涂布：特快點膠機能。
? 出自無停止連續動作的高速的成直線：特快對齊功能。
? 使涂布量自動化：DVM機能。
? 被博伊德回避形成理想的涂布模式"葉線"：MCD機能[PAT.P]。
? 大量事前防止不良：AFC機能。
?晶片變換操作搭載。
? 出自無停止連續動作的高速的成直線：特快對齊功能。
? 使涂布量自動化：DVM機能。
? 被博伊德回避形成理想的涂布模式"葉線"：MCD機能[PAT.P]。
? 大量事前防止不良：AFC機能。
?晶片變換操作搭載。
SPECIFICATION概略規格
名稱
全自動晶片水準點膠機器FAD5100S-WH
型號
FAD5100S-WH
控制方式
PC/PLC控制(SMEMA根據)
適用工件臺
12"晶圓，8"晶圓
武藏MUSASHI全自動晶片水準點膠機器FAD5100S-WH
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