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日本精選DIC迪愛生高純流體除氣單元
日本精選DIC迪愛生高純流體除氣單元
?ppb級脫氣能力?：在半導體清洗工藝中，將溶解氧控制在10 ppb以下，顯著降低氧化缺陷率40%以上。
?無化學添加?：物理脫氣，不引入任何脫氣劑或添加劑，避免二次污染。
?低壓力損失?：膜結構優化，壓降<0.1 MPa，適配長距離輸送系統。
?耐腐蝕全氟流路?：所有濕端部件為PTFE或PFA材質，兼容強腐蝕性溶劑。
?模塊化集成?：可與KOSAPLUS氣動閥、ASAHI-YUKIZAI高純管路、SPOTRON壓力監測系統組成閉環控制單元。
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